在20世紀80年代ICP-MS的研究主要集中在儀器分析特點的討論、潛力的發掘以及一些簡單樣品的分析上， 隨著應用的深入和被分析樣品的復雜化，90年代ICP-MS在一方面被用來完成極為困難的分析任務，其樣品處理 和進樣裝置常常需要作特別的考慮和設計，甚至整個儀器都需改裝，而在另一方面，作為快速、簡便、有力的分析工具，ICP-MS正逐漸應用到生產或其它研究的例行分析中，每天可測量數百個樣品，提供大量的數據。

就儀器本身而言，以扇形磁鐵代替四極桿形成HR-ICP-MS的技術已經成熟并實現了商業化，這種高分辨率的能力在許多應用領域中都是很有價值的。以多接收檢測器代替單接收檢測器也是儀器發展的趨勢，尤其是對同位 素比值精密分析來說這是極為必要的。多種儀器的一體化，如TJA公司的POEMSII型和III型將ICP-OES和ICP- MS融為一體，FinniganMAT公司的Sola型則可以實現ICP源與GD源的自動轉換，儀器的操作軟件將越來越易于操作且功能將越來越強大，整個儀器的自動化程度會不斷提高。以飛行時間為質量分析器的ICP-MS現在已經由 LECO和GBC公司實現了商品化。

在所有ICP-MS技術的發展和改進中，進樣及聯用技術始終是其為活躍的研究領域之一，盡管諸如HPLC、 IC、FI、ETV、LA等樣品處理和進樣裝置已經實現了商業化并可很容易地與ICP-MS進行耦合，但這方面的研究 和應用仍將是今后ICP-MS發展的重點。FI已經發展成為一種在線自動化的樣品預處理技術，并使多種分析技術 的在線聯機檢測成為可能，這對核工業中中、強性的樣品分析來說往往是至關重要的。隨著人們對生物學、核工業等領域中元素的存在形態日益重視，色譜與ICP-MS的聯用技術已經得到了長足的發展和應用。

ICP-MS的前處理方法包括

1、稀釋和溶解：適合直接溶解的液體或固體樣品

2、普通酸溶消溶：可以溶解于無機酸獲有機酸的固體樣品，部分金屬和非金屬固體樣品

3、微波消解：難溶的土壤、合金、礦石等樣品

4、密閉悶罐消解1：密閉環境，高壓消解，普通酸溶無法完全消解樣品可以嘗試該方法

5、熔融：采用熔劑高溫狀態下熔融，一般地質礦樣使用該方法居多

6、基體分離：色譜、離心、電熱蒸發等

ICP-MS理想的樣品制備應該達到以下幾條標準

? 將固體和液體樣品轉換為澄清溶液

? 完全消解了所有的有機物質

? 保留所有目標檢測元素，并且元素濃度在儀器的檢測范圍內

? 未引入新的干擾離子

? 將樣品的粘度和固體物含量調節到適合分析的范圍

? 確保所有的樣品容器都進行過酸液浸泡的前處理，以保證的檢出限

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