超聲波掃描顯微鏡的應(yīng)用領(lǐng)域半導(dǎo)體電子行業(yè): 半導(dǎo)體晶圓片、封裝器件、大功率器件IGBT、紅外器件、光電傳感器件、SMT貼片器件、MEMS等; 材料行業(yè):復(fù)合材料、鍍膜、電鍍、注塑、合金、超導(dǎo)材料、陶瓷、金屬焊接、摩擦界面等;生物醫(yī)學(xué):細(xì)胞動(dòng)態(tài)研究、骨骼、血管的研究等。 超聲波掃描顯微鏡有兩種工作模式:基于超聲波脈沖反射和透射模式工作的。反射模式是主要的工作模式,它的特點(diǎn)是分辨率高,對(duì)待測(cè)樣品厚度的沒(méi)有限制。透射模式只在半導(dǎo)體企業(yè)中用作器件篩選。
EMMI微光顯微鏡
微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是常用漏電流路徑分析手段。對(duì)于故障分析而言,微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當(dāng)有用且效率極高的分析工具。主要偵測(cè)IC內(nèi)部所放出光子。在IC元件中,EHP(Electron Hole Pairs)Recombination會(huì)放出光子(Photon)。如在P-N結(jié)加偏壓,此時(shí)N阱的電子很容易擴(kuò)散到P阱,而P的空穴也容易擴(kuò)散至N,然后與P端的空穴(或N端的電子)做EHP Recombination。在故障點(diǎn)定位、尋找近紅外波段發(fā)光點(diǎn)等方面,微光顯微鏡可分析P-N接面漏電;P-N接面崩潰;飽和區(qū)晶體管的熱電子;氧化層漏電生的光子激發(fā);Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD等問(wèn)題.