東莞市清溪利成感光五金廠(chǎng)本廠(chǎng)主要做曝光顯影工藝，平面、圓弧面、凹凸面、噴砂1氧2氧陽(yáng)極、五金絲印.五金腐蝕等產(chǎn)品加工，有多年經(jīng)驗(yàn)，有需要以上的工藝歡迎您的到來(lái)參觀(guān)和洽談，可免費(fèi)打。

顯影的主要過(guò)程如下：對(duì)準(zhǔn)曝光一曝光后烘一顯影一堅(jiān)膜一顯影檢測(cè)。

對(duì)準(zhǔn)曝光

對(duì)準(zhǔn)曝光階段是光刻工藝的重要階段，使用的掩膜曝光機(jī)，即光刻機(jī)，集中了光刻工藝中重要的工藝技術(shù)。

對(duì)準(zhǔn)曝光過(guò)程通常在黃光實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行。

使用的光刻機(jī)根據(jù)不同的曝光原理，分為接觸式曝光，接近式曝光和投影式曝光。也可按自動(dòng)化程度高低

手動(dòng)

東莞市清溪利成感光五金廠(chǎng)本廠(chǎng)主要做曝光顯影工藝，平面、圓弧面、凹凸面、噴砂1氧2氧陽(yáng)極、五金絲印.五金腐蝕等產(chǎn)品加工，有多年經(jīng)驗(yàn)，有需要以上的工藝歡迎您的到來(lái)參觀(guān)和洽談，可免費(fèi)打。

顯影的主要過(guò)程如下：對(duì)準(zhǔn)曝光一曝光后烘一顯影一堅(jiān)膜一顯影檢測(cè)。

堅(jiān)膜（ HB Hardbake)

堅(jiān)膜也稱(chēng)為硬烘，是對(duì)顯影后的光刻膠加熱烘干，促使光刻膠與硅片粘著牢固，并且沒(méi)有發(fā)生形變。堅(jiān)膜階段的溫度一般控制在100-120℃之間，若加熱溫度過(guò)高會(huì)使得光刻膠軟化，如圖4所示，并導(dǎo)致后期去膠困難。

一般使用熱板或烘箱來(lái)控制溫度變化。

東莞市清溪利成感光五金廠(chǎng)本廠(chǎng)主要做曝光顯影工藝，平面、圓弧面、凹凸面、噴砂1氧2氧陽(yáng)極、五金絲印.五金腐蝕等產(chǎn)品加工，有多年經(jīng)驗(yàn)，有需要以上的工藝歡迎您的到來(lái)參觀(guān)和洽談，可免費(fèi)打。

顯影設(shè)備和圖像形成裝置的制造方法

在混合顯影系統(tǒng)中，難以長(zhǎng)期通過(guò)穩(wěn)定的調(diào)色劑層來(lái)涂敷顯影 輥。在混合顯影系統(tǒng)中，以具有預(yù)定電荷量（Q/S)的調(diào)色劑來(lái)涂敷顯影輥，以使得上述傳送 偏置所生成的電勢(shì)差A(yù)V得以填充在傳送輥與顯影輥之間。在此情況下，存在這樣的關(guān)系： AV和待涂敷的每單位面積的調(diào)色劑的電荷量Q/S彼此成比例。封油所謂封油就是將產(chǎn)品在噴油過(guò)程中產(chǎn)品邊緣的位置、噴不到油的地方進(jìn)行人工補(bǔ)油，補(bǔ)油過(guò)程中產(chǎn)品的金屬部位不可有外露現(xiàn)象，否則經(jīng)過(guò)蝕刻后將會(huì)產(chǎn)生不良品，補(bǔ)油完成后再對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行烘干。此外，Q/S是與每單位面積 的涂層有關(guān)的調(diào)色劑的質(zhì)量（Μ/S)和調(diào)色劑的每單位質(zhì)量的電荷量（Q/M)的乘積。