真空鍍膜機具有真空度高、抽速快、基片裝卸方便的特點，配備 E 型電子束蒸發源和電阻蒸發源。PID自動控溫，具有成膜均勻、放氣量小和溫度均勻的優點。E 型電子束蒸發、電阻熱蒸發源組件（可選配）、樣品掩膜擋板系統、真空獲得系統及真空測量系統、分子泵真空機組或低溫泵真空機組、旋轉基片加熱臺、工作氣路、樣品傳遞機構，膜厚控制系統、電控系統、恒溫冷卻水系統等組成。可選件：膜厚監控儀，恒溫制冷水箱。

真空鍍膜機器設備的主泵形式分成二種，各自為有油真空泵和無油超濾裝置，這二種系統軟件的工作中形式全是不一樣的；有機油超濾裝置基本上是以油擴散泵為主泵，前面泵選用真空泵或是羅茨真空泵。我們知道，油擴散泵的工作壓力方向較為大，與此同時抽真空速度十分的高，可以做到每秒鐘十幾萬升。

無油超濾裝置是應用分子泵和低溫泵做為主泵的，其特性關鍵集中化在可以持續很多抽真空，能夠得到清理無油的極高真空泵。

鍍膜機常見故障及處理方法：

一、檢測不到掩膜夾具翻轉信號：

1、檢查翻面信號源位置

2、將翻面輸入信號人工短接，使用翻面檢測功能，計算機能檢測到信號時，證明問題在翻面控制開關上，根據情況做相應處理。檢測不到信號首先檢查線路，然后更換控制卡。

二、掩膜夾具翻轉不穩定:

1、檢查翻板的初始位置是否符合時機

2、檢測翻面控制開關工作是否穩定，可用指針萬用表跟蹤監測。

3、檢查翻轉機構動作是否靈活可靠

4、檢查翻面信號次數設置

5、檢查旋轉工作臺是否與鐘罩內壁有摩擦現象

6、檢測旋轉工作臺在轉動時的穩定性