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   日期:2024-01-17     作者:潽拓光電    瀏覽:50    評(píng)論:0    
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Varian 分子泵采用 Varian Macro Torr技術(shù),Macro Toree是目前shi界上zui有效的渦輪級(jí)設(shè)計(jì)技術(shù)。

Varian Turbo-V 81-T,都是varian TV81系列,轉(zhuǎn)速都是80000,DN63口徑時(shí),抽速都是77L/s,啟動(dòng)時(shí)間都是60秒,分子泵電源可以相互通用

分子泵的清洗非常重要,如果前級(jí)泵沒有問題,而真空在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)沒有達(dá)到規(guī)定的真空度,在排除漏氣的情況下,說明分子泵內(nèi)部臟化了,就需要進(jìn)行清洗。分子泵的清洗分為直接進(jìn)行清洗和拆卸清洗,前者適用于內(nèi)部不太臟,后者用于內(nèi)部嚴(yán)重臟化

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真空度很好的情況下,分子泵油為何會(huì)返到前級(jí)管道?

原因:油池或密封不良

解決方法:檢查油池

分子泵軸承為什么會(huì)燒毀

原因:①缺乏定期維護(hù)②冷卻不良導(dǎo)致過熱③沒有及時(shí)換油④抽除的氣體中含有大量粉塵

解決方法:①及時(shí)維護(hù)②檢查冷卻系③及時(shí)換油④隔離粉塵

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分子泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中,出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復(fù)到正常,之后又下降至一定頻率,再恢復(fù)到正常,反反復(fù)復(fù),更換電源后現(xiàn)象仍如此,請(qǐng)問該現(xiàn)象如何解釋?

原因:負(fù)載太大,系統(tǒng)真空度不夠

解決方法:檢查系統(tǒng)

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如在陰冷潮濕的環(huán)境或抽除弱酸氣體的環(huán)境使用,停機(jī)前抽入一定量的干燥空氣;如遇突然停水,停水以后應(yīng)即刻停泵,否則泵會(huì)因過熱而卡死或燒毀電機(jī)等;泵工作時(shí)不要頻繁起停,這樣會(huì)影響泵的壽命。

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