右側部分為氣路原理
用戶可以明確地知道氣路原理與氣路基本構成,并可通過手動方式,控制內部截止閥(V1-V6的開關)
INLET1 - 設備所用背景氣,一般為空氣或氮氣。
INLET2 – 原料氣,用戶可通過列表選擇多種氣體種類。
初級儲氣罐 - 用于二次配氣時儲存初級配比出的一定濃度氣體,系統自動維持壓力在0.5MPa以下,在使用二級配氣條件下,初級儲氣罐自動維持壓力在0.45-0.5MPa上下,用以滿足二級配氣下MFC4的正常工作使用壓差。
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多點動態氣體配氣儀系統主要功能
自動配氣:該裝置為計算機智能配氣系統,所有操作功能都通過顯示屏上的觸摸屏完成,只需您在裝置屏幕上選擇輸入需要配制和被稀釋的氣體的名稱和濃度,通過按幾次觸摸屏,10多秒鐘便可配制和顯示出您所要的準確穩定的標準氣體濃度。
自動校準:根據不同氣體的性質和實驗環境溫度,自動修正流量體積。
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動態配氣儀
可以根據客戶需求定制,進行雙路,三路,多路等復合配氣;
采用不銹鋼質量流量控制器、轉子流量計等組件,保證系統配氣精度高,質量可靠;
大屏幕液晶屏幕、中文顯示,系統運行更穩定、操作更簡便;
流量控制采用閉環模糊控制技術,響應速度快,流量控制準確;
零氣壓力和鋼瓶氣壓力可實時監測,保證供氣壓力滿足儀器要求;
系統中氣路清潔功能可保證每次配氣的精準度和設備的長壽命;
無需預熱時間,開機即可配氣。
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配氣儀原理
配氣原理為質量流量混合法。采用的質量流量控制器,控制器稀釋氣體及組分氣體的流量。稀釋氣體可采用高純氮氣、純凈空氣等。組分氣可以使用純氣或一定濃度的混合標氣。通過準確的設置,便可配置出 10-8 -10-2含量的各種標準氣體。
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