如果要在半導(dǎo)體基材上沉積氮化硅，有兩種方法可供使用：

利用低壓化學(xué)氣相沉積技術(shù)在相對較高的溫度下利用垂直或水平管式爐進(jìn)行。

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)在溫度相對較低的真空條件下進(jìn)行。

氮化硅的晶胞參數(shù)與單質(zhì)硅不同。因此根據(jù)沉積方法的不同，生成的氮化硅薄膜會(huì)有產(chǎn)生張力或應(yīng)力。特別是當(dāng)使用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)時(shí)，能通過調(diào)節(jié)沉積參數(shù)來減少張力。

先利用溶膠凝膠法制備出二氧化硅，然后同時(shí)利用碳熱還原法和氮化對其中包含特細(xì)碳粒子的硅膠進(jìn)行處理后得到氮化硅納米線。硅膠中的特細(xì)碳粒子是由葡萄糖在1200-1350℃分解產(chǎn)生的。

硅粉中含有許多雜質(zhì)，如Fe，Ca，Aì，Ti等。Fe被認(rèn)為是反應(yīng)過程中的催化劑。它能促進(jìn)硅的擴(kuò)散，但同時(shí)，也將造成氣孔等缺陷。Fe作為添加劑的主要作用：在反應(yīng)過程中可作催化劑，促使制品表面生成SiO2氧化膜；形成鐵硅熔系，氮溶解在液態(tài)FeSi2中，促進(jìn)β-Si3N4的生成。但鐵顆粒過大或含量過高，制品中也會(huì)出現(xiàn)氣孔等缺陷，降低性能。一般鐵的加入量為0～5%。Al，Ca，Ti等雜質(zhì)，易與硅形成低共熔物。適當(dāng)?shù)奶砑恿浚梢源龠M(jìn)燒結(jié)，提高制品的性能。

氮化硅涂料能有效解決鋼坯熱處理過程中氧化燒損問題。納米硅酸鹽化涂料防氧化效果明顯，能使原來普通熱軋板所產(chǎn)生的3％-5％的氧化皮降到0.1％-0.8％，使不銹鋼熱軋板所產(chǎn)生的1％-3％的氧化皮降到0.2％以下。

氮化硅炮泥。含有氮化硅的炮泥，將起到有效的燒結(jié)的作用、耐腐蝕性的作用及抗分裂性的作用，應(yīng)用于爐體或電爐中能夠?qū)⒏郀t爐口更加穩(wěn)定的封好，并且非常容易破割。

氮化硅在HRB400高強(qiáng)度熱軋鋼筋有很好的應(yīng)用。Si3N4作為增氮?jiǎng)浜螰eV用于生產(chǎn)V微合金化Ⅲ級(jí)鋼筋，鋼筋性能優(yōu)良穩(wěn)定，是生產(chǎn)HRB400 Ⅲ級(jí)鋼筋的一種新合金化工藝。

氮化硅在單位質(zhì)量氮含量中僅次于氮化硼，價(jià)格較低，從而在增氮方面有非常高的。