對檢漏方法的要求：穩定性好，即可以在足夠長時間內靈敏度；所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；氦質譜檢漏主要領域：空調制冷工業——壓縮機、冷凝器、蒸發器及閥門等；真空科學與工業——泵、閥門、真空規管以及鍍膜機、真空爐等真空系統；對于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調到漏率（10-11Pa.m3/s），然后對氦罩沖氦。

真空檢漏向各個加熱電極、爐體水套等通水腔體內噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格，可以用塑料布、膠帶對的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進行包裹罩封,然后向罩中噴入氮氣，觀察檢漏儀的漏率變化,如果緩慢上升,說明被包裹的位置存在漏點。極限壓力不合格，升壓率合格這種情況原因通常出現在粗抽閥到機械泵部分的各個連接管路的焊口及法蘭連接或真空泵本身性能。

尋求一種合適的檢漏方法，對汽輪機真空系統進行行之有效的檢漏和堵漏工作，提高機組的真空嚴密性及真空已成為改善機組運行狀況、節能降耗以及機組安全運行的一項重要工作。氦質譜檢漏技術是一種 應用于國內外對真空容器檢漏的先進技術，氦質譜檢漏技術的高靈敏度和無損性早已成功地應用于航天、電子、制冷等領域。應用氦質譜檢漏技術對火電廠汽輪機真空系統進行檢漏的方法，近幾年已在電力生產中逐漸推廣應用。

氦質譜檢漏儀使用氦氣作為示蹤氣體，氦是單原子稀有氣體分子，在空氣中的含量(5.2ppm), 無色、無味，常溫下為氣態的惰性氣體，極不活潑，既不能燃燒，也不助燃，化學性能穩定。在檢測器件的密封性能時，遇到器件大漏時，有大量的氦氣進入氦質譜檢漏儀，短時間內儀器內部氦氣難以清除，造成儀器的本底升高，儀器的檢測靈敏度降低，影響儀器的再次檢測精度。