重要的準分子激光，以稀有氣體的鹵化物為自動介質，如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因為受激態常以星號(*)上標表示，所以有些數據上寫成ArF*等。準分子不會天然出現，而是在氣體混合物中放電時形成的。激光混合氣中的發生氣體是激光發生器上用來產生激光的氣體，對氣體質量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達99.999%，高純氮氣的純度99.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮氣是平衡氣體，氣體中的水分、氧份、有機氣體雜質對激光機的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機對這些氣體的質量要求特別高。20W機型可發生275.4至1090.0 nm的一些激光光。主要的可見光波長分別是514.5、501.7、496.5、 488.0、476.5、472.7、465.8、457.9、454.5 nm。藍綠光波段中，而的是514.5及488 nm。氪離子激光可發生337.4至799.3 nm，的是647.1 nm，其次為413.1及530.9 nm。產品中，有將氬氣與氪氣混合的機型。

中性原子激光中，常見的是氦氖激光。它的紅光尤其為我們所熟悉。它的光色顯著，所以常用作非可見光激光中的指引光束(Guiding beam)。其優越的同調性及方便的操作條件(只須氣冷、110V的電壓、價格相對地)，使它廣用于掃描讀碼設備及全像等。氣體激光(Gaseous laser)，以氣體為自動介質的激光中，包含中性原子激光、離子氣體激光、金屬蒸汽激光、分子氣體激光、準分子激光。激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。

近年來CO2激光加工設備雖然漸趨普及，但激光畢竟是一種新的工具，激光加工技術亦不同于傳統的加工方法，所以工業界在引進使用CO2激光器的過程中，曾經遇到各種各樣的問題，給很多廠商造成不少困擾。重要的準分子激光，以稀有氣體的鹵化物為自動介質，如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因為受激態常以星號(*)上標表示，所以有些數據上寫成ArF*等。準分子不會天然出現，而是在氣體混合物中放電時形成的。激光氣體中的發生氣體時激光發生器上用來產生激光的氣體，對氣體質量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達99.999%，高純氮氣的純度99.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮氣是平衡氣體，氣體中的水分、氧份、有機氣體雜質對激光機的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機對這些氣體的質量要求特別高。

中性原子激光中，常見的是氦氖激光。它的紅光尤其為我們所熟悉。它的光色顯著，所以常用作非可見光激光中的指引光束(Guiding beam)。其優越的同調性及方便的操作條件(只須氣冷、110V的電壓、價格相對地)，使它廣用于掃描讀碼設備及全像等。在激光焊接中，保護氣體會影響焊縫成型、焊縫質量、焊縫熔深及熔寬，極大多數情況下，吹入保護氣體會對焊縫產生積極的影響作用，但是也可能會帶來不利的作用。如果將氦（He）氖（Ne）激光作為代氣體激光，二氧化碳激光混合氣體是第二代氣體激光，在半導體制造領域將大量使用的氟化氪（KrF）激光，可稱為第三代激光。