氣體管道工程流量太大調不小的原因與解決辦法？

氣體管道工程在實施時難免發生大大小小的事情，如果不加以解決會影響整個工程的進展，甚至造成更大的損失，那么呢了解氣體管道工程流量太大調不小的原因嗎，當遇到這種問題又有哪些解決方法呢?

產生此類故障的原因有三種：

第i一，是流量計后氣路有泄漏;

第二，是氣路氣阻太小;

第三，是流量控制閥件損壞。

實驗室氣體管道工程

其檢查方法如下：

首先堵住檢測器的氣路出口，觀察流量計中的轉子是否可下降到零位。如不能降為零，需要考慮對漏氣處進行檢查，具體方法見氣路泄漏的檢查與排除;如轉子可降到零位說明系統不漏氣。

氣體管道工程

此時應觀察一下流量調節閥轉動時，流量是否 有較大的變動，若有變動可適當增加氣路氣阻;若無變動則應懷疑閥件本身有問題，按照閥件的清洗部分處理。處理后的閥件應再裝回原氣路中進行控制試驗。

高純氣體管道配管

所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設備用點(POU)，為了達到工藝對氣體的質量要求，在氣體出口指標一定的情況下，則更需重視配管系統的材料選用和施工質量。除取決于制氣或凈化設備的精度外，在很大程度上受到管路系統諸多因素的影響，因此，管材的選取應恪守相關行業原則，并在圖紙中注明管道材質。當管道井、管道技術層內敷設有氫氣、氧氣和煤氣管道時，應有換氣1~3次/h的通風措施。

管路的材質則依使用的需求進行選擇，若為制程用的反應氣體則選擇高等級的316L EP管，經電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠低于經過光輝燒結(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應的氣體，如GN2、CDA。管內表面粗糙度是衡量管材質量的標準。實驗室供氣系統主要包括中央集中供氣系統和氣瓶分散供氣系統兩種模式。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經特殊處理的AP管(Annealing & Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。

各種氣體配管配件要求

在半導體體行業線寬越做越小，其對氣體純度、顆粒度、雜質含量、露i點的要求也越來越高。

高純氮氣(PN2)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

氮氣(N2)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管或光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或球閥。

高純氫氣(PH2)氫氣(H2)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。(Ar)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

氦氣(He)：系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L不銹鋼管)閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

特氣系統：必要的還需做雙套管：外管酸洗鈍化(AP)處理，內管電解拋光(EP)，閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。

對于特殊氣體來講，氣體品種多，有毒有害氣體多，原來是一機臺配一氣柜，高昂的裝備組合和維修費用大大增加了投資成本，且有的還布置在工藝間內，存在著泄漏的安全隱患。現在廣泛采用集中供氣系統，氣柜集中，自控系統不斷完善，其報警、噴淋、切換、吹掃多較為成熟，特氣間也與工藝間隔離，并對房間有防爆要求，工作的安全性大大提高。5米左右，氣體管路就需要有支架，另外根據氣體管路彎曲的直徑，設置合適的支架位置。

氣體管道工程的保養主要有哪些？

其實主要的是接口與閥門，接口與閥門經過氣的侵蝕在一定時間后會出現小故障，會容易出現漏氣的現象。每日要檢查氣壓表，如果出現漏氣的話氣壓表就會不穩定或不在原來的地方等。

氣體管道屬于機電機械類物體其主要是為了輸送氣體，氣體又分普通氣體、高純氣體、特種氣體。生活當中接解的多的就是天i然氣，煤氣，氣體運用不好的話就會給我們帶來災難。日常的保養非常重要，要做到及時檢查氣體管道的重要部位，通過重要部位來分析哪些地方管道出現問題。一、氣瓶間及氣瓶的安全規范（1）氣瓶應專瓶，不能隨意改裝其它種類的氣體。出現問題的地方要及時修復，避免損壞越來越大造成嚴重后果。