潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、技術(shù)密切聯(lián)系在一起。由于精密機(jī)械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導(dǎo)體工業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產(chǎn))等對(duì)環(huán)境的要求,促進(jìn)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。國(guó)內(nèi)曾統(tǒng)計(jì)過(guò),在無(wú)潔凈級(jí)別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64位儲(chǔ)存器僅2%。目前在精密機(jī)械、半導(dǎo)體、宇航、原子能等工業(yè)中應(yīng)用潔凈室已相當(dāng)普遍。

什么是無(wú)塵室(無(wú)塵車間)?無(wú)塵等級(jí)劃分標(biāo)準(zhǔn)是什么?
無(wú)塵車間(潔凈室)等級(jí)大體可以分為十萬(wàn)級(jí)、萬(wàn)級(jí)、千級(jí)、百級(jí)、十級(jí)。數(shù)字越小,潔凈等級(jí)越高。
10級(jí)的潔凈室凈化工程主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。百級(jí)潔凈室可用于工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等,這一潔凈室凈化工程大量應(yīng)用于,手術(shù)室,包括移植手術(shù),集成器的制造、隔離病房等等。

管道穿越潔凈室(區(qū))墻體、吊頂、樓板和特殊構(gòu)造時(shí),應(yīng)符合下列要求:
(1) 管道穿越伸縮縫、抗震縫、沉降縫時(shí)應(yīng)采用柔性連接;
(2) 管道穿越墻體、吊頂、樓板時(shí)應(yīng)設(shè)置套管,套管與管道之間的間隙應(yīng)采用不易產(chǎn)塵的不燃材料密封填實(shí);
(3) 管道接口、焊縫不得設(shè)在套管內(nèi)。
安裝于潔凈室(區(qū))的管道、支吊架材料應(yīng)采用不易生銹、產(chǎn)塵的材料,外表面應(yīng)光滑、易于清潔。



