納米定位臺

納米位移臺是現(xiàn)階段精密度較高的檢測儀器，普遍用以各種各樣規(guī)定較為高的場地，非常是真空泵和超低溫場地，應(yīng)用它能夠開展的測量。納米位移臺采用閉循環(huán)系統(tǒng)實際操作，電動位移臺，大行程安排是20cm，緊湊型的設(shè)計方案能夠出示毫米的產(chǎn)生，本身負(fù)荷力大，采用單一定位設(shè)備能夠完成粗靠近和細(xì)致掃描儀二種實際操作，電動位移臺安裝，再加其有非常高的可靠性，因此不容易存有機械設(shè)備灑脫的狀況。

納米定位臺如何滿足納米調(diào)節(jié)使用？

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性的功能之IC產(chǎn)品。要求較高的不僅是我們想象的要在豌豆大小的面積上集成上以百萬計的電子元器件，另外對于生產(chǎn)好的晶圓進行切割（分離）也是一項難題，然而切割技術(shù)的不成熟造成了50%以上的浪費，所以提高晶圓切割技術(shù)水平很是必要。

根據(jù)納米定位臺的Z軸大量程移動范圍，高剛度的保證，微秒級的動態(tài)響應(yīng)時間，超小的遲滯，穩(wěn)定工作負(fù)載都符合行業(yè)領(lǐng)域指標(biāo)。

納米定位臺使用新雙傳感器技術(shù)在顯微鏡的物鏡聚焦行業(yè)，擁有精良的動態(tài)性能和精度。納米定位平臺提供埃米級的定位精度、超過100微米的總行程和小于4ms的階躍穩(wěn)定時間。

安裝步驟和注意事項

安裝前首先要進行安全檢查，如連接線有無破損、斷線，驅(qū)動電源有無接地保護等。

壓電納米定位臺安裝步驟如下：

1、確保安裝平面較平；

2、用螺釘固定平臺，擰緊；

3、連接接地保護

4、安裝負(fù)載，適當(dāng)擰緊以確保定位精度；

5、將產(chǎn)品連接線按連接器頭處標(biāo)識與控制器對應(yīng)接口連接起來；

注意事項：

l 安裝負(fù)載時緩慢擰緊負(fù)載，扭矩不要太大，以免損傷機構(gòu)；

l 避免拉伸電纜和彎曲電纜；

l 不要擅自延長電纜，