真空設備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對應

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進或流出這個空間。如真空設備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產不能進行，或者產生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至會釀成事故。在各種檢漏應用場合中，氫氣檢漏法的出現為您帶來了更大的性能和效率的改善提高機會。

這些對密封性有要求的產品或設備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用中也要定期進行檢漏檢查。

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氫氣檢測儀在氫氣泄漏檢測中的應用

氫氣探測器將傳感器檢測到的氫氣濃度轉換成電信號，通過線纜傳輸到氣體檢測報警控制器，氣體濃度越高，電信號越強，當氣體濃度達到或超過報警控制器設置的報警點時，氣體檢測報警控制器發出報警信號，并可啟動電磁閥、排氣扇等外聯設備，自動排除隱患。固定式氫氣探測器物聯網廣泛應用于石油、化工、冶金、電力、煤礦、水廠等環境，有效防止事故的發生。真空設備檢漏氦質譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。

氫氣檢漏

油霧法

油霧法的測試塵源為油霧，“量”為含油霧空氣的濁度，以過濾器前后氣樣的濁度差別來判斷過濾器對油霧顆粒的過濾效率。

德國規定使用石蠟油，油霧粒徑為0.3~0.5微米。油霧法在檢測過濾器時，容易對過濾器造成損傷，且不能直接讀值，浪費時間。

DOP法

這種方法曾經是國際上測試過濾器海綿常用的方法。

它的測試塵源為0.3微米單分散相鄰苯二甲酸二辛酯(DOP)液滴，也稱為“熱DOP”，“量”為含DOP空氣的渾濁程度。

將DOP液體加熱成蒸汽，蒸汽在特定的條件下冷凝成微小液滴，去掉過大和過小的液滴后留下0.3微米左右的顆粒，進入風道，通過測量過濾器前后氣樣的濁度，并由此判斷過濾器對0.3微米粉塵的過濾效率。