用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低；檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高；它不會(huì)對人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價(jià)格低。

質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔。赡承┰蛞鸨镜椎牟▌?dòng)，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來，靈敏度高。

2、氦的質(zhì)量小（相對分子質(zhì)量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會(huì)污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側(cè)的是氫（質(zhì)荷比為2）和雙電荷原子碳（質(zhì)荷比為6），質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉(zhuǎn)半徑相差也大，容易分開，定標(biāo)找氦峰時(shí)，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時(shí)，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點(diǎn)真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)1．配置與氣路控制真空箱：一般為雙工位，兩個(gè)不銹鋼真空箱，開門裝置可采用液壓方式，或加配重的手動(dòng)方式。

5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險(xiǎn)，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動(dòng)大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

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真空箱氦檢漏基本功能

操作者把工件放在真空箱內(nèi)，將工件接口與真空箱內(nèi)的快速接頭進(jìn)行連接，在真空箱門關(guān)閉后，系統(tǒng)能全自動(dòng)的完成大漏檢測、工件強(qiáng)度檢測、抽空、充氦、檢漏、回收整個(gè)過程，生產(chǎn)節(jié)拍快，檢漏精度高。工藝流程編輯A1：安裝工件-----關(guān)真空箱門-----真空箱抽真空，同時(shí)工件內(nèi)充高壓氮?dú)?----大漏及強(qiáng)度檢測；B1：若A1檢測不通過，則系統(tǒng)報(bào)警，大漏工件序號顯示-----檢測程序中止；B2：若A1檢測通過，放掉氮?dú)?-----對工件抽真空------真空箱內(nèi)的氦氣本底抑零-----工件內(nèi)充入氦氣-------真空模式，微漏檢測；真空箱氦檢漏真空箱氦檢漏，根據(jù)氦檢漏的基本檢漏原理，用氦氣作為示蹤氣體，在真空箱內(nèi)將氦氣充入工件，然后通過氦檢漏儀能、迅速準(zhǔn)確的判斷工件的泄露情況。C1：若B2檢測不通過，則系統(tǒng)報(bào)警-----循環(huán)檢，小漏工件序號顯示------檢測程序中止；C2：若B2檢測通過，真空箱內(nèi)充入大氣，同時(shí)工件內(nèi)氦氣回收-------真空箱開門，檢測完成。

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氦質(zhì)譜檢漏儀

檢漏靈敏度高，可以檢漏到10-11Pam3/s 數(shù)量級，儀器響應(yīng)快，氦分子在儀器高真空的環(huán)境中擴(kuò)散的速度很高;所以氦質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應(yīng)用，例如，在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機(jī)、火箭、、飛機(jī)等這些都要用到真空檢漏技術(shù)。在一般工業(yè)領(lǐng)域里原子能、發(fā)電廠、配電站、合成氨的氮肥生產(chǎn)廠、汽車制造業(yè)、造船工業(yè)、制冷工業(yè)、冶金工業(yè)、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐快餐食品包裝等都離不開檢漏問題，同樣在裝備中也離不開檢漏，彈體、燃料儲(chǔ)備罐、燃料運(yùn)輸管道、、特殊部件的密封性都要用到氦質(zhì)譜檢漏儀，本文主要真對氦質(zhì)譜檢漏儀原理及方法進(jìn)行綜述。關(guān)于氦氣檢漏設(shè)備，應(yīng)注意其配備了標(biāo)準(zhǔn)氦氣檢漏裝置，包括更詳細(xì)的校準(zhǔn)報(bào)告。