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公司基本資料信息
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真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,包括真空離子蒸發鍍膜機、磁控濺鍍膜機射、MBE分子束外延鍍膜機和PLD激光濺射沉積鍍膜機等很多種。主要是分成蒸發和濺射兩種。在真空鍍膜設備中需要鍍膜的被成為基片,鍍的材料被成為靶材。基片與靶材同在真空腔中。蒸發鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程形成薄膜。
真空鍍膜機的原理
真空主體——真空室根據加工產品的要求差異,大小也不一。目前應用的真空室有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。燃燒室由不銹鋼制成,不需要生銹、堅固等。真空室的所有部分都設有連接閥,用于連接各種泵。
輔助抽氣系統:排氣系統是真空鍍膜機的重要組成部分,主要由機械泵、增壓泵(主要引入羅茨泵)和油擴散泵組成。排氣系統由“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。機械泵首先將真空室抽入小于2.0 * 10-2 pa 的低真空狀態,為擴散泵的后續真空抽吸提供了前提,然后在擴散泵的真空室抽吸時,機械泵與油擴散泵串聯,完成抽吸作用。
真空鍍膜機主要是指需要在高真空度下進行的鍍膜,包括真空蒸發鍍膜機、真空多弧離子鍍膜機、真空中頻磁控濺射鍍膜機、多功能中頻磁控濺射多弧復合離子鍍膜機、真空光學(電子束蒸發)鍍膜機等。
真空鍍膜機的操作注意事項
1、真空電鍍機操作員要穿著整潔,袖口扣緊(佩戴袖套),上衣下擺不能敞開,不得穿拖鞋、高跟鞋;
2、檢查電路各控制開關能否正常斷開閉合,電壓指示380±20V;
3、檢查各螺釘處連接是否牢固,電控柜、主機的連接線有無松脫現象、接地是否良好;所有電器的開關在零或者“關”的位置上;