氦質譜檢漏儀

充氦法

充氦法也稱負壓法 ，一個密閉的氣室連接真空泵和氦氣罐，將被檢零件裝入一個氣室，開始關閉氦氣罐閥門，機械泵把氣室先抽成真空，然后關閉真空泵閥門，打開氦氣罐閥門給氣室充氦，并靜置一段時間。被氦氣包圍的小器件上如果有漏隙，氦氣就慢慢充入小器件內部。然后將氣室打開，取出被檢器件，用壓縮空氣吹掉其外表面可能吸附的氦。八、工件小車托盤（見設備圖紙作為驗收依據）期望大家在選購氦檢漏設備時多一份細心，少一份浮躁，不要錯過細節疑問。再把這些器件逐個(或成組) 地裝入接在檢漏儀進氣法蘭處的容器中，把此容器抽空后打開節流閥，這時原先進入被檢器件的氦又會經過漏孔放出來，檢漏儀就會給出漏率響應。

氦質譜檢漏儀

充氦法

的整體檢漏就是可以用這種方法，將放入大型環模室中，利用環模設備的真空系統將環模抽成真空，先用輔助泵進行粗抽和預抽，在檢漏時先通過機械泵將及充氣管道抽成真空后，將氦氣充入中，壓力保持和工作的壓力一致，開啟氦質譜檢漏儀用標準漏孔校準儀器，就可以直接測量的漏率了。05Mpa（可調）2、工作節拍：＜40分鐘/件3、箱內接口數量：大件1個工件接口。

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氦檢漏設備

密封器件的氦質譜細檢漏技術細分為壓氦法(即背壓法) 和預充氦法兩種。D A Howl 等首先給出了壓氦法測量漏率Re 與等效標準漏率L 的關系，并指出該關系對應的氣流狀態為分子流，文獻指出將壓氦法測量漏率與等效標準漏率關系式中個括號刪掉，就得到預充氦法的相應關系式。無論是壓氦法還是預充氦法，在公式推導中都假定候檢期間環境大氣中不存在氦分壓。然而，實際上地球干潔大氣中含有少量氦氣；壓氦時通常會產生檢漏用氦氣對環境大氣的污染，使環境氦分壓超過地球干潔大氣中的氦分壓。因此，推導和分析環境大氣中氦分壓對壓氦法和預充氦法的影響是十分必要的。3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應，不會污染被檢件，使用安全。