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1分鐘前 湖州共聚焦顯微鏡生產(chǎn)廠家信息推薦「蘇州特斯特」[蘇州特斯特31ff5f9]內(nèi)容:超聲波掃描顯微鏡原理;利用脈沖回波的性質(zhì),激勵(lì)壓電換能器發(fā)射出多束通過(guò)耦合液介質(zhì)傳遞到被測(cè)樣品,在經(jīng)過(guò)不同介質(zhì)時(shí)會(huì)發(fā)生折射、反射等現(xiàn)象,通過(guò)阻抗不同的材料時(shí)會(huì)發(fā)生波形相位、能量上的變化等現(xiàn)象,經(jīng)過(guò)一系列數(shù)據(jù)計(jì)算形成灰度值圖片,可用來(lái)分析樣品內(nèi)部狀況。作為無(wú)損檢測(cè)分析中的一種,它可以實(shí)現(xiàn)在不破壞物料電氣能和保持結(jié)構(gòu)完整性的前提下對(duì)物料進(jìn)行檢測(cè)。被廣泛的應(yīng)用在物料檢測(cè)(IQC)、失效分析(FA)、破壞性物理分析(DPA)、可靠性分析、元器件二次篩選、質(zhì)量控制(QC)、及可靠性(QA/REL)、研發(fā)(R&D)等領(lǐng)域。

超聲波掃描顯微鏡,英文名是:Scanning Acoustic Microscope,簡(jiǎn)稱SAM,由于它的主要工作模式是C模式,因此也簡(jiǎn)稱:C-SAM或SAT。北軟檢測(cè)SAT頻率高于20KHz的聲波被稱為超聲波。超聲波掃描顯微鏡是理想的無(wú)損檢測(cè)方式,廣泛的應(yīng)用在物料檢測(cè)(IQC)、失效分析(FA)、質(zhì)量控制(QC)、及可靠性(QA/REL)、研發(fā)(R&D)等領(lǐng)域。檢測(cè)電子元器件、LED、金屬基板的分層、裂紋等缺陷(裂紋、分層、空洞等);通過(guò)圖像對(duì)比度判別材料內(nèi)部聲阻抗差異、確定缺陷形狀和尺寸、確定缺陷方位。

對(duì)于故障分析而言,微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當(dāng)有用且效率極高的分析工具。主要偵測(cè)IC內(nèi)部所放出光子。在IC元件中,EHP(Electron Hole Pairs) Recombination會(huì)放出光子(Photon)。舉例說(shuō)明:在P-N 結(jié)加偏壓,此時(shí)N阱的電子很容易擴(kuò)散到P阱,而P的空穴也容易擴(kuò)散至N然後與P端的空穴(或N端的電子)做 EHP Recombination。

EMMI微光顯微鏡

微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是常用漏電流路徑分析手段。對(duì)于故障分析而言,微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當(dāng)有用且效率極高的分析工具。主要偵測(cè)IC內(nèi)部所放出光子。在IC元件中,EHP(Electron Hole Pairs)Recombination會(huì)放出光子(Photon)。如在P-N結(jié)加偏壓,此時(shí)N阱的電子很容易擴(kuò)散到P阱,而P的空穴也容易擴(kuò)散至N,然后與P端的空穴(或N端的電子)做EHP Recombination。在故障點(diǎn)定位、尋找近紅外波段發(fā)光點(diǎn)等方面,微光顯微鏡可分析P-N接面漏電;P-N接面崩潰;飽和區(qū)晶體管的熱電子;氧化層漏電生的光子激發(fā);Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD等問(wèn)題.

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