真空鍍膜設(shè)備使用步驟

1電控柜的操作

1)開(kāi)水泵、氣源

2)開(kāi)總電源

3)開(kāi)維持泵、真空計(jì)電源，真空計(jì)檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。

4)開(kāi)機(jī)械泵、予抽，開(kāi)渦輪分子泵電源、啟動(dòng)，真空計(jì)開(kāi)關(guān)換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。

5)觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后，關(guān)予抽，開(kāi)前機(jī)和高閥繼續(xù)抽真空，抽真空到達(dá)一定程度后才能開(kāi)右邊的高真空表頭，觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能開(kāi)電子電源。

PVD 鍍膜工藝起源于國(guó)外，在行業(yè)發(fā)展初期，鍍膜設(shè)備和鍍膜材料的配套以國(guó)外廠商為主。國(guó)外 PVD 鍍膜材料廠商的鍍膜材料經(jīng)過(guò)與下游客戶的鍍膜設(shè)備、鍍膜工藝的長(zhǎng)期磨合，各項(xiàng)性能指標(biāo)與客戶的匹配性已較好，具有較強(qiáng)的先發(fā)優(yōu)勢(shì)，因此，長(zhǎng)期以來(lái) PVD 鍍膜材料研制和生產(chǎn)主要集中于美國(guó)、日本和德國(guó)少數(shù)公司，產(chǎn)業(yè)集中度較高。

高純?yōu)R射靶材屬于典型的技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè)，研發(fā)生產(chǎn)設(shè)備性強(qiáng)。在一定程度上，半導(dǎo)體工業(yè)的區(qū)域集聚性造就了高純?yōu)R射靶材生產(chǎn)企業(yè)的高度聚集。自誕生之日起，以美國(guó)、日本為代表的高純?yōu)R射靶材生產(chǎn)企業(yè)便對(duì)技術(shù)執(zhí)行嚴(yán)格的保密措施，導(dǎo)致濺射靶材行業(yè)在范圍內(nèi)呈現(xiàn)明顯的區(qū)域集聚特征，生產(chǎn)企業(yè)主要集中在美國(guó)和日本。

PVD鍍膜加工工藝流程比較長(zhǎng)、工序繁多，發(fā)生故障的影響因素會(huì)很多。如PVD鍍膜前處理不凈、清洗不良、電解液成分失調(diào)及雜質(zhì)污染、生產(chǎn)環(huán)境不良等。PVD鍍膜而故障的原因往往存在于以上各影響因素的一兩個(gè)細(xì)節(jié)之中。

PVD鍍膜加工

PVD鍍膜加工在影響產(chǎn)品質(zhì)量的五大因素〔操作者、設(shè)備、材料、工藝方法及生產(chǎn)環(huán)境)中，人是位的。PVD鍍膜故障的發(fā)生都與操作工技能和工作責(zé)任心有關(guān)。PVD鍍膜生產(chǎn)管理人員對(duì)操作工指導(dǎo)和監(jiān)督不力，這些在PVD鍍膜企業(yè)較普遍存在的狀況,PVD鍍膜使得故障在所難免。要減少PVD鍍膜生產(chǎn)故障，提高PVD鍍膜從業(yè)人員的技能和工作責(zé)任心是十分重要的。

PVD鍍膜加工生產(chǎn)故障是每個(gè)PVD鍍膜企業(yè)都會(huì)遇到的問(wèn)題，排除故障是PVD鍍膜技術(shù)人員的重要職責(zé)。PVD鍍膜實(shí)踐出真知，PVD鍍膜生產(chǎn)的實(shí)踐性很強(qiáng)。要在調(diào)控PVD鍍膜生產(chǎn)的全過(guò)程中做到遇障不驚，PVD鍍膜途徑就是在生產(chǎn)實(shí)踐中摸爬滾打、堅(jiān)韌實(shí)干、善于思考，不斷探索和積累等。