氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)示漏氣體的要求及選擇

氦質(zhì)譜檢漏儀廠(chǎng)家的氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)示漏氣體的要求及選擇一般應(yīng)從以下幾方面考慮：

(1)無(wú)害，不能對(duì)人體或環(huán)境造成傷害;

(2)質(zhì)量輕，惰性氣體，穿透能力強(qiáng)，能穿透微小細(xì)縫;

(3)化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會(huì)引起化學(xué)反應(yīng)和易1燃易1爆;

(4)在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿(mǎn)足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測(cè)的準(zhǔn)確性。

氫和氦都是比較理想的示蹤氣體，空氣中的含量少，質(zhì)量輕，運(yùn)動(dòng)速度快，分子直徑小，同等條件下，直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)距離長(zhǎng)。在實(shí)際使用中，也相對(duì)比較容易獲取，可以大量使用。由于He具有無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)活性、不可燃的特性，因此一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學(xué)性質(zhì)及危險(xiǎn)性，在應(yīng)用中較少使用，所以實(shí)際大部分檢漏使用的都是氦氣。氦質(zhì)譜檢漏儀熱管檢漏熱管熱管(HeatPipe)是利用熱傳導(dǎo)原理與致冷介質(zhì)的快速熱傳遞性質(zhì)，透過(guò)熱管將發(fā)熱物體的熱量迅速傳遞到熱源外，其導(dǎo)熱能力超過(guò)任何已知金屬的導(dǎo)熱能力。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴(kuò)散檢漏。逆擴(kuò)散原理如圖所示。逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比）即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5。

氦氣檢漏設(shè)備的三種常見(jiàn)方法

一、負(fù)壓法

負(fù)壓法是一種常見(jiàn)而方便的檢漏方法。當(dāng)進(jìn)行氦氣檢漏時(shí)，氦被連接到充滿(mǎn)氦氣的瓶子中，并且使用噴將氦噴射到泄漏部分。如果氦氣從泄漏孔流入壓力容器裝置，裝置中氦氣的分壓將上升，泄漏率將顯示在氦氣檢漏設(shè)備上。它是否合格取決于標(biāo)準(zhǔn)泄漏率。如果超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)泄漏率，將被視為不合格。（3）電子行業(yè)微波發(fā)射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類(lèi)傳感器、心臟起博器。

二、正壓法

正壓方法是首先用一種以上的大氣壓氦氣或氦氣的混合氣體填充壓力容器裝置。在壓力容器裝置的外部檢測(cè)中，泄漏孔泄漏到外部氦氣中，然后找到泄漏孔。當(dāng)用抽吸搜索氦氣時(shí)，一旦氦氣被吸入，氦氣檢漏設(shè)備將顯示泄漏率值。在這種情況下，由于壓力容器裝置的外部是一個(gè)大氣壓，充入壓力容器裝置的氣壓需要至少一個(gè)大氣壓或更多個(gè)大氣壓。然而，壓力不應(yīng)太高。如果壓力過(guò)高，插入設(shè)備的壓力表或其他插件會(huì)彈出，造成傷害和其他危險(xiǎn)事故。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過(guò)同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。

三、氦罩法

在這種方法中，用塑料薄膜包裹被測(cè)容器，首先除去罩子中的空氣，然后充入氦氣或氦氣混合氣體，檢漏儀與被測(cè)容器的內(nèi)部連接，當(dāng)檢漏儀顯示泄漏率時(shí)，指示泄漏。這個(gè)泄漏率稱(chēng)為總泄漏率。總泄漏率是所有泄漏率的總和。如果總泄漏率不超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)值，則每個(gè)泄漏率不超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)值；離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質(zhì)分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。如果總泄漏率超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)值，檢查每個(gè)點(diǎn)的泄漏率是否超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)值。然后調(diào)整修改超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)值的泄漏孔，直至達(dá)到合格標(biāo)準(zhǔn)。