復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。另一方面欲達到無塵室潔凈度之穩定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發生渦流作用，此時要實現高潔凈度事實上很困難。

簡易無塵室是一種可提供局部高潔凈環境的空氣凈化設備。簡易無塵室主要由箱體、風機、初效空氣過濾器、阻尼層、燈具等組成，外殼噴塑。

產品配制

1.框架：以工業鋁材（或不銹鋼方通、鐵方通噴塑）作為框架穩固、美觀、不生銹、不產塵；

2.防靜電垂簾：四周圍用防靜電垂簾（或鋼化玻璃），防靜電效果好、透明度高、網格清晰、柔韌度好、不變形、不易老化；

3.風機濾網機組FFU：，采用離心風機，內部凈化級別可達100-100K級；

4.內部采用凈化室凈化燈，不產塵；

除了人員進出潔凈室須予以規范管理外，原材料及設備進出也必須經過潔凈程序，方不至于影響潔凈室潔凈度。其進潔凈室流程如表8-4所示。至于搬出則反向而行，但不須經洗滌程序。原材料及設備進出用潔凈室為潔凈室等級1000或10,000級房間，工作人員于其室內清潔設備或原材料時必須穿著清潔衣服，所使用擦拭紙為無塵紙或不會脫落纖毛無塵布，清潔劑除了使用超純水之外，并加入3～5%濃度的IPA或化學品，以增強去污能力，由于IPA具揮發性故此房間排氣效果須特別考慮。6）人類在頭部和軀干做動作時每分鐘將產生1000000個大于0。搬遷設備時為免破壞地板支架及地板表面，必須事先于地板上鋪設已清潔過的不銹鋼板，作為輔助。