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公司基本資料信息
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復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴(kuò)充容易; B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。另一方面欲達(dá)到無塵室潔凈度之穩(wěn)定效果,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一氣流若無法保持,表示風(fēng)速有異,特別是在壁面,氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用,此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難。

簡易無塵室是一種可提供局部高潔凈環(huán)境的空氣凈化設(shè)備。簡易無塵室主要由箱體、風(fēng)機(jī)、初效空氣過濾器、阻尼層、燈具等組成,外殼噴塑。
產(chǎn)品配制
1.框架:以工業(yè)鋁材(或不銹鋼方通、鐵方通噴塑)作為框架穩(wěn)固、美觀、不生銹、不產(chǎn)塵;
2.防靜電垂簾:四周圍用防靜電垂簾(或鋼化玻璃),防靜電效果好、透明度高、網(wǎng)格清晰、柔韌度好、不變形、不易老化;
3.風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組FFU:,采用離心風(fēng)機(jī),內(nèi)部凈化級(jí)別可達(dá)100-100K級(jí);
4.內(nèi)部采用凈化室凈化燈,不產(chǎn)塵;

除了人員進(jìn)出潔凈室須予以規(guī)范管理外,原材料及設(shè)備進(jìn)出也必須經(jīng)過潔凈程序,方不至于影響潔凈室潔凈度。其進(jìn)潔凈室流程如表8-4所示。至于搬出則反向而行,但不須經(jīng)洗滌程序。原材料及設(shè)備進(jìn)出用潔凈室為潔凈室等級(jí)1000或10,000級(jí)房間,工作人員于其室內(nèi)清潔設(shè)備或原材料時(shí)必須穿著清潔衣服,所使用擦拭紙為無塵紙或不會(huì)脫落纖毛無塵布,清潔劑除了使用超純水之外,并加入3~5%濃度的IPA或化學(xué)品,以增強(qiáng)去污能力,由于IPA具揮發(fā)性故此房間排氣效果須特別考慮。6)人類在頭部和軀干做動(dòng)作時(shí)每分鐘將產(chǎn)生1000000個(gè)大于0。搬遷設(shè)備時(shí)為免破壞地板支架及地板表面,必須事先于地板上鋪設(shè)已清潔過的不銹鋼板,作為輔助。
