復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易； B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。另一方面欲達(dá)到無塵室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用，此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難。

簡易無塵室是一種可提供局部高潔凈環(huán)境的空氣凈化設(shè)備。簡易無塵室主要由箱體、風(fēng)機(jī)、初效空氣過濾器、阻尼層、燈具等組成，外殼噴塑。

產(chǎn)品配制

1.框架：以工業(yè)鋁材（或不銹鋼方通、鐵方通噴塑）作為框架穩(wěn)固、美觀、不生銹、不產(chǎn)塵；

2.防靜電垂簾：四周圍用防靜電垂簾（或鋼化玻璃），防靜電效果好、透明度高、網(wǎng)格清晰、柔韌度好、不變形、不易老化；

3.風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組FFU：，采用離心風(fēng)機(jī)，內(nèi)部凈化級(jí)別可達(dá)100-100K級(jí)；

4.內(nèi)部采用凈化室凈化燈，不產(chǎn)塵；

除了人員進(jìn)出潔凈室須予以規(guī)范管理外，原材料及設(shè)備進(jìn)出也必須經(jīng)過潔凈程序，方不至于影響潔凈室潔凈度。其進(jìn)潔凈室流程如表8-4所示。至于搬出則反向而行，但不須經(jīng)洗滌程序。原材料及設(shè)備進(jìn)出用潔凈室為潔凈室等級(jí)1000或10,000級(jí)房間，工作人員于其室內(nèi)清潔設(shè)備或原材料時(shí)必須穿著清潔衣服，所使用擦拭紙為無塵紙或不會(huì)脫落纖毛無塵布，清潔劑除了使用超純水之外，并加入3～5%濃度的IPA或化學(xué)品，以增強(qiáng)去污能力，由于IPA具揮發(fā)性故此房間排氣效果須特別考慮。6）人類在頭部和軀干做動(dòng)作時(shí)每分鐘將產(chǎn)生1000000個(gè)大于0。搬遷設(shè)備時(shí)為免破壞地板支架及地板表面，必須事先于地板上鋪設(shè)已清潔過的不銹鋼板，作為輔助。