無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無塵室控管項(xiàng)目：

1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

⒉ 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。

⒊ 溫度和濕度之控制。

⒋ 壓力之調(diào)節(jié)。

⒌ 有害氣體之排除。

⒍ 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。

⒎ 靜電之防制。

⒏ 電磁干擾預(yù)防。

⒐ 安全因素之考慮。

⒑ 節(jié)能之考量。

⒒照度的的調(diào)節(jié)

在電子元件制品的制造過程中，微粒子污染對成品率有重大影響，故應(yīng)在過程中嚴(yán)格控制微粒子的數(shù)量，遵守“不攜入、不發(fā)生、不儲備、除去”四項(xiàng)基本原則以防止微粒子污染。

無塵室內(nèi)防止微粒子污染基本原則：

排除/除去

在無法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺中，為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。無塵室（無塵廠房）主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。針對排氣的對策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，負(fù)離子檢測儀而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對策。

潔凈室（無塵室）吸塵器的主要組成：

大扒頭：當(dāng)清掃地面面積較大時，使用大扒頭可有效快速的提高工作效率。

小扒頭：清掃面積相對較小時，小扒頭可方便快捷的掃除工作臺底部的灰塵和顆粒。

圓毛刷：工作范圍主要集中在工作臺臺面，清楚工作臺面細(xì)微的小顆粒

伸縮桿：增大清掃范圍領(lǐng)域。

軟管：機(jī)器正常工作時，吸收的小顆粒，灰塵，雜物，經(jīng)過吸口有軟管傳遞到過濾系統(tǒng)。

集塵袋：潔凈室吸塵器的過濾系統(tǒng)，也是為重要的環(huán)節(jié)，收集人眼能分辨的小顆粒，對保護(hù)馬達(dá)和過濾器有重要作用。

電源開關(guān)：控制吸塵器的啟動和關(guān)閉。

過濾器：過濾器是吸塵器的第四大過濾系統(tǒng)，也是后一個環(huán)節(jié)，過濾器能過濾0.012um的小顆粒，過濾之后的空氣達(dá)到100級以上。