無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。　單流向型無塵室，很多都是設計成垂直層流，因此風速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。潔凈衣材料以洗后或使用其他處理后仍不會變質或發塵者為基本條件，且其布料為不燃、不起毛，其織法或布料組織不易通過污染物和不易附著污染物材質，另外經過摩擦不產生靜電或帶電性非常，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。非單流向型無塵室，由于微粒控制的觀念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠比風速重要，因此多只需要測量風量。

工業無塵室用途——以無生命微粒的控制為對象。無塵室（無塵廠房）主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態及接觸部品材料，并藉由除電裝置進行除電。它適用于精密機械工業、電子工業（半導體、集成電路等）宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業（光盤、膠片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多種不同行業。

在高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內將室內空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數值。同時，空氣的流向也必須要有精準的控制才行。簡易無塵室主要由箱體、風機、初效空氣過濾器、阻尼層、燈具等組成，外殼噴塑。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域，使得附近已發生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內，而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。