氦質譜檢漏儀

檢漏靈敏度高，可以檢漏到10-11Pam3/s 數量級，儀器響應快，氦分子在儀器高真空的環境中擴散的速度很高;所以氦質譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用，例如，在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。在一般工業領域里原子能、發電廠、配電站、合成氨的氮肥生產廠、汽車制造業、造船工業、制冷工業、冶金工業、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐快餐食品包裝等都離不開檢漏問題，同樣在裝備中也離不開檢漏，彈體、燃料儲備罐、燃料運輸管道、、特殊部件的密封性都要用到氦質譜檢漏儀，本文主要真對氦質譜檢漏儀原理及方法進行綜述。三、設備腔體部分選用SS304板10mm厚，腔體法蘭選用SS304板成活30mm。

半導體設備及材料需要檢漏原因

1、半導體設備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發臺、ICP、PECVD等設備。出現泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；

2、在高真空環境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現泄漏周圍環境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產過程中必須進行氦質譜檢漏；

3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經過氦質譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設備能及時抽走未反應氣體和氣態反應產物，保障工作人員安全和大氣環境。

4、芯片封裝，一旦出現泄漏，芯片就會失效。

氦質譜檢漏儀

氦質譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優點而被廣泛應用于壓力容器、航空航天、原子能、發電廠、制冷工業等領域。檢漏儀在使用過程中，往往會因為產生的一些故障或是現象，而影響檢漏工作的正常進度，若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命。真空箱式氦檢漏設備充氣柜氦檢漏設備環網柜檢漏設備主要技術參數及要求：1、真空箱尺寸：長00mm×寬00mm×高00mm充氦氣壓力：0。其中的有些故障或現象是使用者能夠及時解決或避免的，掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。