復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點，應設于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走。潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。

氣流是控制潔凈度與溫濕度的主要因素，它對噪音也有一些影響。因此風速測量，都是放在無塵室測試的步。風速測量的目的，是確認濾網送出的氣流滿足設計規(guī)范，其次是確認氣流的均勻度。除非得到管理人員的特別許可，否則，在潔凈室里，衣服口袋只能是空的。在某些場合可能因現(xiàn)場的限制，室內換氣量還必須用風速乘以出口面積來換算。

無塵室內防止微粒子污染的基本原則：

不發(fā)生

在控制大污染源--人在無塵室內的微粒子發(fā)塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時，所產生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到小限度應采取以下對策：

減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)；

采用磨耗發(fā)塵小的材質；

采用發(fā)塵小的潤滑油；

機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。