凈化工程潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。凈化工程是指需要對塵粒及微生物含量進行控制的區域，該區域的建造結構、裝備及使用不僅能夠截留粒子而且會盡可能地減少粒子向該區域介入。凈化工程傳遞窗主要用于潔凈室與非潔凈室之間物品傳遞,以減少開門的次數，是有效減少潔凈室與非潔凈室交叉污染的凈化設備。

光學微電子凈化工程之定義。光學微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給于特別設計之密閉空間。級別zui高的當屬航天航空的航空倉，基本是屬于1級，屬于特殊領域，面積相對較小。另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產車間，物聯網芯片的發展將是未來需求的一大方向。

凈化工程空調機房宜在潔凈室側面。凈化工程空調機房宜在潔凈室側面空調機房的位置，其位置宜在潔凈室的側面，這不但可以節能，也有利于風道的布置，并使氣流組織更加合理，同時，可以節省工程費用。在凈化工程空氣凈化系統的中要重點考慮如下幾點：空氣的流向必須是從關鍵區或更清潔的區域到環繞區域或低級別的區域；其次，空氣的潔凈度和空氣流向，進風和排風必須平衡。凈化室根據用途決定凈化等級，根據需要調節凈化室溫度、濕度、換氣次數。溫度可由不銹鋼管道調節，也可用凈化室空調調節。