測試時(shí)，將定量的氦氣噴吹在懷疑可能泄漏的部位，通過觀察檢漏儀上的漏率顯示來確定該部位是否存在泄漏及泄漏程度的大小。由于真空系統(tǒng)比較龐雜，影響真空的因素多，對(duì)此我們?cè)谠囼?yàn)前，應(yīng)先根據(jù)真空嚴(yán)密性的試驗(yàn)情況、相關(guān)系統(tǒng)及設(shè)備的運(yùn)行情況、機(jī)組的檢修情況等進(jìn)行了解分析，初步判斷真空泄漏可能發(fā)生的設(shè)備或系統(tǒng)管道的位置。然后，在試驗(yàn)過程中先對(duì)重點(diǎn)懷疑泄漏部位進(jìn)行檢查，再對(duì)其他部位按照分系統(tǒng)、分段、逐個(gè)設(shè)備部件進(jìn)行排查。

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。檢漏儀自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。氦質(zhì)譜檢漏儀由微機(jī)控制，菜單的選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。檢漏儀高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對(duì)檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。

為了避免事故的發(fā)生，化工廠商在投建廠房時(shí)就應(yīng)該對(duì)化學(xué)管道和設(shè)備做氣密檢漏并且后期生產(chǎn)中也需要定期檢漏。氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸，防止因儀器長時(shí)間清除不掉氦影響而延誤測試。對(duì)檢漏方法的要求：檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；反應(yīng)時(shí)間短，可以提高工作效率；根據(jù)具體被檢對(duì)象，所用方法簡便易行，經(jīng)濟(jì)實(shí)用。