什么是氣體質量流量控制器？

氣體質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。

質量流量控制器不僅具備質量流量計的作用，更主要的是，它能控制氣體流量，即客戶可按照需求設定流量，MFC會自動地將流量穩定在設定值上，即使系統工作壓力有起伏或自然環境溫度有轉變，也不會使其偏移設定值。簡易地說,質量流量控制器可以看成是一個穩流設備, 是一個可以手動式設置或與電子計算機連接自動控制的氣體穩流設備。

如何通過質量流量控制器判斷有沒有氣體通過？

可以使用惰性氣體接到MFC進氣端，然后將出氣口接一根軟管再通進水里，如果軟管口有氣泡冒出，證明MFC是有氣體通過的，不過需要注意防止液體倒吸進MFC內，也可以用手將出氣口堵死，觀察瞬時流量是否有下降，如果有下降，也證明有氣體通過，此時堵住出氣口的手指也能感受到一定的壓力。

氣體質量流量控制器工作原理

氣體進入進氣管道接頭后大部門流量流過分流器通道，其中很小一部門進入傳感器內部的毛細鋼管。因為分流器通道的特殊結構，可以實現這兩部門氣體流量成正比例關系。傳感器經由預熱加溫，里面的溫度高于進入的氣流溫度，此時通過毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門氣體的質量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，經由放大后輸出，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環自動控制功能，把傳感器測得的流量檢測信號與用戶給出的設定信號進行比較，以此為基礎控制調節閥，使得流量檢測信號與設定信號相等，這樣便實現了MFC的功能。