所述泡沫彈性層包含:至少三種具有不同體積電阻率的導電性橡膠,這三種導電性橡膠的體積電阻率小于約I X ο14 Ω Cm ;至少一種體積電阻率為約IXlO14Qcm或更大的絕緣橡膠；以及至少兩種導電性填料。

所述絕緣橡膠為選自由三元乙丙橡膠、硅橡膠和丁基橡膠構成的組中的至少一種橡膠。根據本發明的第三方面，所述導電性橡膠和所述絕緣橡膠為氯醚橡膠、丁苯橡膠和三元乙丙橡膠，或者為氯丁橡膠、氯醚橡膠、丁苯橡膠和三元乙丙橡膠。背靶材料：無氧銅(OFC)–目前常使用的作背靶的材料是無氧銅，因為無氧銅具有良好的導電性和導熱性，而且比較容易機械加工。根據本發明的第四方面，所述絕緣橡膠的含量為橡膠成分總量的約30質量％至約40質量％。

眾所周知，靶材材料的技術發展趨勢與下游應用產業的薄膜技術發展趨勢息息相關，隨著應用產業在薄膜產品或元件上的技術改進，靶材技術也應隨之變化。如Ic制造商．近段時間致力于低電阻率銅布線的開發，預計未來幾年將大幅度取代原來的鋁膜，這樣銅靶及其所需阻擋層靶材的開發將刻不容緩。另外，近年來平面顯示器（FPD）大幅度取代原以陰極射線管（CRT）為主的電腦顯示器及電視機市場．亦將大幅增加ITO靶材的技術與市場需求。綁定的適用范圍技術上來說表面平整可進行金屬化處理的靶材都可以用我司銦焊綁定技術綁定銅背靶來提高濺射過程的散熱性、提高靶材利用率。此外在存儲技術方面。高密度、大容量硬盤，高密度的可擦寫光盤的需求持續增加．這些均導致應用產業對靶材的需求發生變化。下面我們將分別介紹靶材的主要應用領域，以及這些領域靶材發展的趨勢。

在深加工產品這一領域，如何來提升產品的技術含量和檔次，納米技術、納米材料的科學研究，實踐應用是這個產業向產業化發展的方向，成為當代關注和競爭的主要課題。

納米、（nm）納米技術、納米材料是當代科技領域中的熱門名詞，已經成為現實和潛在的巨大的應用前景的納米銀線，已在山東、浙江、北京等地進入人們的視野，并進入國際市場，如果按照銀的當前價7元/克計算的話，納米銀線的價格將是銀價的350倍以上。

各種類型的濺射薄膜材料在半導體集成電路(VLSI)、光碟、平面顯示器以及工件的表面涂層等方面都得到了廣泛的應用。20世紀90年代以來，濺射靶材及濺射技術的同步發展，極大地滿足了各種新型電子元器件發展的需求。電子廢料與黃金等貴金屬成品之間的差價是比較固定的，而金銀做為貴金屬，不論在任何時候總是增值的，因此銷售市場不存在問題。例如，在半導體集成電路制造過程中，以電阻率較低的銅導體薄膜代替鋁膜布線。

在被濺射的靶極（陰極）與陽極之間加一個正交磁場和電場，在高真空室中充入所需要的惰性氣體（通常為Ar氣），磁鐵在靶材料表面形成250～350高斯的磁場，同高壓電場組成正交電磁場。