廣州潽拓光電科技有限公司——廣州Agilent分子泵

安捷倫真空推出了一款全新渦輪分子泵 TwisTorr 305，它繼承了安捷倫TwisTorr 系列分子泵超高真空、高壓縮比、全無油潤滑等優(yōu)點，同時（參見文章：安捷倫TwisTorr超高真空渦輪分子泵特點介紹），還擁有諸多全新的特點（參見文章：新產品 | 安捷倫新型分子泵“新”在哪？），此外，TwisTorr 305 還是安捷倫采用全新設計和制造方法所推出的款真空產品。而廣州潽拓光電根據305產品特性研究，可以針對性的提供服務。

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫二手分子泵故障處理

高真空渦輪分子泵是什么？

渦輪分子泵是一種用來獲取高真空的真空泵，典型的工作壓力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在極限狀態(tài)下，可以通過它實現 0.00000001Pa（大氣壓的十萬億分之一）的超高真空。渦輪分子泵可以用于各類質譜儀（比如 GC/MS、LC/MS、ICP/杠MS、TOF…）、鍍膜機、電子顯微鏡（SEM、TEM）、聚焦離子束系統(tǒng)（FIB）、表面分析儀器，高能物理實驗裝置、粒子、高真空實驗裝置等諸多應用。

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫二手分子泵故障處理

氣載、熱氣體、突變氣載

a 引起問題：溫度升高；動靜片變形；轉子上移；潤滑失效5℃原則；軸承失效

b. 措施：加大水冷；增加冷卻裝置；縮短換油時間7磁場屏蔽出現的問題

旋轉的轉子在磁場中產生渦電流，將使轉子發(fā)熱，將產生如下問題：

①、轉子與定子間隙越來越小，造成碎片；

②、轉子溫升過大造成磁性電機轉子退磁；

③、由于發(fā)熱會減弱鋁材料的強度，造成碎泵；

④、轉子發(fā)熱，改變轉子和軸的相對位置，造成碎泵。

分子泵在磁場中運轉時，徑向和軸向磁場強度均不得大于30Gs。原則上，大于30Gs應使用導磁材料屏蔽。

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫二手分子泵故障處理

為什么要選擇渦旋式無油干泵IDP-3？極低維護成本IDP-3的采購價格及維護包價格只是隔膜泵的一半更換操作快捷15分鐘即可完成的密封條更換工作降低音頻噪聲—提高用戶體驗使用精密的測聲計，并通過ISO標準進行測試：在操作人員位置的測試結果表明，IDP-3的噪聲會小于油封式真空泵2dB

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫二手分子泵故障處理

性能指標H2 壓縮比1.5 x 106前級管道法蘭尺寸KF 16 NW前級耐壓 — N212 mbar啟動時間< 3 min噪音水平41 dB(A)工作位置Any建議采用的前級泵容量7 m3/h抽速 — Ar250 L/s抽速 — H2220 L/s抽速 — He255 L/s抽速 — N2250 L/s氣體通量 — N2、水冷250 sccm極限真空<1 x 10-10 mbar標準和認證EN 61010-1

EN 61326-1

EN 1012-2

EN 12100

EN 50581

機械指令 2006/42/EC

電磁兼容性指令 2014/30/

EU 指令 2011/65/EU法蘭類型DN 100DN 160貯存環(huán)境溫度-40 至 +70 °C運行環(huán)境溫度+5 to +35 °C重量5.84 kg額定轉速60 KRPM

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫二手分子泵故障處理

為了確認磁場對分子泵工作的影響，德國卡爾斯魯厄理工學院（KIT）設計并執(zhí)行了下面的測試：

測試條件和裝置

被測分子泵的型號為 TwisTorr304 FS CFF6，使用一對亥姆霍茲線圈(直徑 120 厘米)來產生包圍整個泵的均勻磁場。

被測分子泵由一臺渦旋干泵作為前級，分子泵的進氣口壓力抽至 1E-3 mbar 以下（該壓力以下，熱對流幾乎為零，分子泵轉子的熱量僅可以通過輻射傳遞出去很小的一部分）。使用 20℃ 的冷卻水對分子泵持續(xù)進行冷卻；分子泵的控制器會自動調整電機電流，保持轉子以恒定轉速運行。使用安裝于分子泵口的紅外溫度計測量被測試分子泵的轉子溫度。使用連接到分子泵外殼的 PT100 熱電阻測量定子的溫度。

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫二手分子泵故障處理

廣州潽拓Agilent安捷倫 TV401301渦輪分子泵維修 varian Turbo-V 301/401 Navigator 分子泵的應用范圍包括高能物理和研究、納米技術、質譜技術、工業(yè)真空加工和半導體，并可用作掃描電子顯微鏡 (SEM) 的泵。

Agilent TV301分子泵有四種規(guī)格，分別為：

Agilent TV 301 ISO100-K

Agilent TV301 Cf100

Agilent Varian TV301 CF160