氮化硅在90-1000K溫度范圍內的遷移率具有與其他大多數半導體不同的行為。N型材料的霍爾遷移率在200K時約具有10c㎡/V.s的大值，在1000K時大約降到2.5c㎡/V.s、90K時接近于零；P型材料的大值不明顯，200K時的遷移率值為70c㎡/V.s，1000K時為30c㎡/V.s。研磨開始階段因有工件的原始粗糙度及幾何形狀態誤差，工件與研具接觸面積較小，使磨粒壓下較深。隨著研磨時間增加，磨粒壓下漸淺，通過工件橫截表面的磨粒增多，幾何形狀誤差很快變小而表面光潔度的改善也較快。磨料--主要是因為氮化硅具有很高的硬度，化學穩定性和一定的韌性，所以氮化硅能用于制造固結磨具、涂附磨具和自由研磨，從而來加工玻璃、陶瓷、石材、鑄鐵及某些非鐵金屬、硬質合 金、鈦合金、高速具和砂輪等。

從用途來說，氮化硅微粉的主要用途是氮化硅陶瓷或其他陶瓷以及耐火材料的原料；氮化硅磨粉粉的主要用途是切割或磨料。近年來，發展了一種新的燒結方法，就是在氮化硅中加入0.36%的硼和0.25%以上的氮，在2100℃溫度下用普通燒結辦法使氮化硅燒結到理論密度的96%。這種耐火材料在較低溫度時的導熱性比氮化硅含量相同的氮化硅粘土質的要高些，但是隨著溫度的升高，該差有所降低，并且于6OO攝氏度或更高的溫度時，氮化硅粘土質耐火材料(含10~20%粘土)的導熱系數與以氮化硅為結合劑的氮化硅質耐火材料的相等。同時，低氣孔率的以二氧化硅為結合劑的氮化硅質制品的導熱性可能比以氮化硅為結合劑的制品要高些。

那么氮化硅陶瓷究竟有哪些性能特點呢？氮化硅陶瓷的主要材料是氮化硅，氮化硅的熔點是非常高的，可以達到攝氏2000多度。因此氮化硅陶瓷的耐熱性是非常好的。因為氧化硅高強度的耐熱性，在機械制造中或者內燃機制造業領域都有非常好的應用發展前景。

氮化硅材料是在氧化鋁材料以后出現的一種刀具材料。它比氧化鋁材料的強度和斷裂韌性高, 其抗彎強度一般可達 900~ 1 000MPa, 斷裂韌性 5~ 7MPa#m1P2 , 硬度 91~ 93HRA, 耐熱性可達1 300~ 1 400 e , 不易產生裂紋, 可以獲得穩定的使用壽命。采用熱壓自增韌的方法可以進一步提高氮化硅陶瓷的強度和韌性, 即控制燒結過程, 使一部分氮化硅晶粒發育成具有較大長徑比的棒狀晶粒( 晶粒的長徑比可達 3~ 8) , 從而獲得類似于晶須增韌的效果, 斷裂韌性可達 10. 02MPa#m1P2 。

氮化硅與水幾乎不發生作用；在濃強酸溶液中緩慢水解生成銨鹽和二氧化硅；易溶于，與稀酸不起作用。濃強堿溶液能緩慢腐蝕氮化硅，熔融的強堿能很快使氮化硅轉變為硅酸鹽和氨。氮化硅在 600℃以上能使過渡金屬（見過渡元素）氧化物、氧化鉛、氧化鋅和二等還原,并放出氧化氮和二氧化氮。1285℃ 時氮化硅與二氮化三鈣Ca3N2發生以下反應：

Ca3N2+Si3N4─→3CaSiN2