真空泵維修中，應注意下述幾點:

①該泵制造精度較高，不是非常必要則不必拆開，以免j修不當，降低精度。當然維修工作者應當提高自己的技術水平，在該泵技術性能變差時，應及時修理，h能定期(一年)檢修。

②檢修時，將泵從真空系統(tǒng)拆下后，開始檢查試抽，確認必須拆泵修理時，可按下列步驟進行:取去護翠，拆下三角皮帶及大皮帶、排氣筒，松開各進氣嘴處的壓蓋，把油放干凈后，拆去箱蓋和油密封室，取出主軸(不必拆斷鏈條)，然后抬出左右機座

應用

一般清潔泵送

電子掃描顯微鏡 (SEM)

射束線和高能物理

前級渦輪泵

超高速離心機

主要特性和優(yōu)勢

真空外殼中 不需要使用潤滑劑，完全密封可保證的清潔和干燥真空， 防止交叉污染

無大氣壓到 真空的軸封可使軸承完全隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能 以更低溫度運行，使用時間更長

簡單的單側 滾軸布置與創(chuàng)新的電機和軸承設計相結合，只需程度的 特殊工具，就能實現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務，因此可降低運行成本， 盡可能延長正常運行時間

改進了電機和 傳動效率，可降低功耗和運行成本

先進的接口 提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過 USB、RS232 或 RS485 實現(xiàn) 遠程控制/監(jiān)視

泵系列

下一代完全無油的干式渦旋泵，可在各種應用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了傳統(tǒng) XDS 泵的性能，抽取速度更高的，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 泵還采用了的端部密封技術，顯著延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 泵可完全進行現(xiàn)場維修。

nXDS6i

nXDS10i

nXDS15i

nXDS20i

nXDS-C

愛德華真空泵相對其他單級選片式真空泵具有更高的精度，同時結構相對來講比較復雜，所以我們在愛德華真空泵維修時需要制作精度較高的工具來對泵浦進行拆卸、安裝，下面就其軸承的檢修與裝配跟大家交流下。

拆卸軸承應使用工具，安裝時不得用錘直接敲擊軸承，需敲擊時必須墊以軟金屬。

裝配軸承時，應先檢查軸承質量、配合尺寸偏差等是否符合要求。

軸承內圈端面應與軸肩靠緊

軸承采用加熱安裝時，加熱可采用油浴，油溫不超過100-120度，軸承油浴時間10-15Min，嚴禁用火焰直接加熱軸承

適合清潔/干燥應用的 Edwards RV 泵的主要優(yōu)點

的模式選擇器開關意味著泵可在高流速下保持潤滑

配備可選的油回收套件，可確保在高流量下，油保持在泵內

的防反吸保護可避免油霧回流到制程中

通過油壓來控制打開狀態(tài)，從而消除壓力波動

在泵由于傾泄閥而停止運行的 0.4 秒內快速關閉

獲得的模式選擇器意味著該泵在高真空應用和高吞吐量應用中都適用。對于后一種應用，可以安裝一個可選的油回收套件，以便讓泵在高吞吐量下連續(xù)運轉而不會將所有油排到排氣管中。

氧化劑

真空泵維修的結構特征以及零部件磨損規(guī)律，通常采用以下兩類典型的維修方式。

1、事后維修

它是指機械設備發(fā)生故障后才進行的維修。它包括查找故障部位、進行修復或更換零部件、調整、驗收等一系列技術活動，是一種古老的維修方式，僅適用于安全性、可靠性要求不高的情況。

2、預防維修

預防維修是指機械未發(fā)生停機故障或損失之前所進行的維修。隨著設備或系統(tǒng)結構的日趨復雜，以及因發(fā)生故障所造成的經(jīng)濟損失日益增大，那種只通過事后維修的方法越來越滿足不了需要，采用預防維修是不可缺少的。

的艙室抽空時間可減少 總體平均循環(huán)時間 (TACT)

僅僅 0.55kW 的功耗 有助于減少客戶擁有成本

環(huán)保模式可以在空閑 期間多減少 92% 的功耗

35oC 的水 供給有助于降低設備冷卻水要求

且極輕， 有助于節(jié)省寶貴的工廠空間

適用于嚴苛應用的大型 iXL 干泵

iXL1000：緊湊型低能量的干 泵，適用于輕負載應用。它提供快速艙室抽空和 極低的功耗。可用于輕負載應用（如晶圓加工、PVD 和 計量）的且安靜的泵之一。此產(chǎn)品 在高度成功的 iXL120 泵的基礎上構建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通過環(huán)保模式可在空閑期間降低設備 使用率，從而降低成本并幫助保護環(huán)境。