廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業經驗和銷售及維修工程師團隊組成，公司提供國外及國內廠家生產的真空泵，檢漏儀，分子泵，擴散泵，水環真空泵，螺桿真空泵，羅茨泵，真空測量，真空泵油及其備品備件。

通常擴散泵的性能是以極限真空、大反壓強、抽氣速率以及設置冷阱或低溫擋板而定。

1.極限真空

如果對一般油擴散泵的結構進行改進，如減少油蒸氣的返流，加分鎦裝置，合理分配加熱功率，改進噴嘴角度設計，加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使擴散泵性能大大改善，極限真空可達到更低的壓強。油擴散泵工作壓力范圍是10^-1~10^-6Pa，起始壓力正好是機械泵的極限壓力，因此，油擴散泵通常要利用機械泵作為前級泵，將真空度抽到10^-1Pa后才能開始工作。

2.大反壓強

大反壓強是指擴散泵所允許的前置壓強大值。如果前級泵所產生的壓強高于大反壓強，則擴散泵就不能正常工作。

3.抽氣速率

擴散泵的抽速可根據氣體分子運動理論來推算出來。

4.設置冷阱及低溫擋板的原因

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擴散泵是真空鍍膜機的主要部件，為保證真空鍍膜機的正常穩定運行，平時對真空鍍膜機擴散泵的維護和保養就顯得尤為重要。今天成越科儀就給大家分享一下真空鍍膜機擴散泵維修與保養知識。

擴散泵工作過程中冷卻水必須保證暢通，停止加熱后必須保證泵工作液已完全冷卻后方可關閉冷卻水。

擴散泵停止工作時，泵內應保持真空狀態，以免泵油劣化。

被抽氣體應是干燥、無腐蝕、無灰塵的氣體。

擴散泵如暫時不用，保管期間應該保持真空狀態，以免泵油污染和各零件腐蝕并將冷卻水套入的剩水吹凈。保持場地的室溫應在10-40攝氏度之間。

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鍋爐內泵油的不穩定沸騰，會使噴出的蒸汽射流的密度波動，從而引起抽速和輕氣體壓縮比的變化。鍋爐可能一時過熱，使之有一段爆沸的時間，其補救的辦法是在現代的油擴散泵中采用有翼片的鍋爐，增加內表面積，降低熱流密度，增加功率能使爆沸減低到小或消除。在真空中，強力的爆沸，會引起自爆升騰，對噴咀，引起瞬間堵塞，造成汽流波動。泵內加防爆板可以防止爆沸的影響，因對輕氣體壓縮比低，可引起壓力的不穩定，增加功率和泵的級數是有利的。在擴散泵中設置側面出口噴射噴咀和擴壓器，可使擴散泵這種不穩定性減至小。頂噴咀帽過冷也會引起蒸汽流不連續，導致壓力的不穩定。設法保持頂噴咀的溫度不降，不使其過冷。來自橡膠密封的氣泡，有時油捕集氣體，通過密封膠圈滲透放出，因氣泡有一定壓力使油膜后進入系統中。密封槽內集存的泵油應能排出，可使不穩定減少，若用金屬墊圈就更好了。設計良好的冷帽能防止油滴落到頂噴咀的熱表面上蒸發。在用碳氫化合物泵油時，操作不當，擴散泵系統有發生的危險。大多數情況下規管的燈絲就是點火源。泵的日常操作要規范，定期檢查泵油的質和量。

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利用水冷擋油帽，使泵的抽速稍有損失外，可使返油率降低。對于許多應用場合是允許的。若在系統附加些管道、閥門和彎管，可使真空室的返流降低1/10~1/1000。若利用水冷式的光學密閉的障板，可限制主要返流，但使泵的抽速約下降50%。次要的返流（即冷凝在表面上的泵油遷移和再蒸發是表面溫度和泵油蒸汽壓的函數，到達真空室的這種返流量取決于設置在泵與真空室之間的冷阱的幾何形狀和溫度，常用液氮（ 77K）冷阱來捕集油分子。因此真空室的壓力明顯地低于泵油的蒸汽壓。障板或冷阱不僅必須光學密閉，而且還必須使進入障板或冷阱的油分子與冷面少碰撞一次。對于使用吸附劑（如沸石）的障板，為避免油分子直線飛行，要設置交錯的吸附劑托盤。沸石是一種含有直徑比氣體分子直徑稍大的微孔物質。1盎司（ 28.35g）沸石內部約有5英畝吸附面積，在小型超高真空系統中，使用分子吸附劑障板是有效的。因為在低壓下，在幾個星期內它能連續地吸附碳氫化合物和其它氣體，并不需要液氮。