直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。凈化工程的步的關(guān)鍵是設(shè)計(jì)，工程設(shè)計(jì)水平的好與壞將直接關(guān)系到整個工程之后的施工，還會影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟(jì)性。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。凈化工程的步的關(guān)鍵是設(shè)計(jì)，工程設(shè)計(jì)水平的好與壞將直接關(guān)系到整個工程之后的施工，還會影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟(jì)性。

凈化工程在設(shè)計(jì)時，無論是新建還是重新改造的凈化車間，都一定依照國家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，要選用防靜電型。送回風(fēng)管道一般用鍍鋅鋼板，不宜選用玻璃棉類材料保溫。照明應(yīng)選用凈化車間燈具。排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等，凈化車間設(shè)計(jì)時，要根據(jù)實(shí)際情況選擇。