催化燃燒是在催化劑的作用下，將廢氣中的有害可燃組分完全氧化為二氧化碳和水的過程。

優點：催化燃燒器凈化率高、工作溫度低、能量消耗少、對可燃組分濃度和熱值限制少，操作簡便和安全性好。

缺點：有的氣體燃燒條件苛刻，需高溫、高空和高水蒸氣分壓，因此催化劑必須具備較高的活性、高熱穩定性和較高的水熱穩定性，以及一定的抗能力。

活性炭吸附是將有機廢氣由排氣風機送人吸附床，有機廢氣在吸附床被活性炭吸附劑吸附而使氣體得到凈化，凈化后的氣體排向大氣即完成凈化過程。

優點：吸附率高，運行能耗低，費用成本低，安全可靠，適用于有的危險場所，吸附劑可以回收，節能環保。

缺點：不耐高溫，在濕潤的條件下不能保持很好的吸附能力；，較快達到飽和吸附而失去效用；產生二次固體或液體污染物。

等離子體分解法

優點：工藝簡潔，低耗節能，設備材料強，抗腐蝕，使用壽命長，能去除含有揮發性有機物、無機物、、氨氣等主要污染物的廢氣。

缺點：等離子體技術在廢棄物處理過程中，所要求的真空環境，帶來了一定的技術難題，現在還是在處于研究階段，目前很多研究只針對單一的污染物。

UV紫外法是利用的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，改變廢氣的分子結構，使有機或無機高分子廢氣化合物分子鏈在高能紫外線光束照射下，降解轉化成低分子化合物的方法。

優點：占地面積小，運行成本較低，設備投資較低。

缺點：去除效率低，可處理的氣體種類較少。