無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵室主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵室。因為有的人對乳膠中的蛋白質過敏，如果因使用了無粉乳膠手套而造成手部出現紅點，建議改用膠手套。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。

清潔室內用品除了進出潔凈室用的潔凈衣、防靜電鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具桌子、椅子、晶片盒、搬運車、筆記本、告示板及垃圾箱、真空洗塵器等。潔凈衣材料以洗后或使用其他處理后仍不會變質或發塵者為基本條件，且其布料為不燃、不起毛，其織法或布料組織不易通過污染物和不易附著污染物材質，另外經過摩擦不產生靜電或帶電性非常，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。無塵室內防止微粒子污染的基本原則：不發生在控制大污染源--人在無塵室內的微粒子發塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發塵量。頭罩材質為無塵紙（或無纖紙）制成，帽子材質則與潔凈衣同，二者在穿戴使用時，除了只露出眼睛或臉表面部分外，其他部分均須包覆，在頭部部分連接上衣處也必須完全蓋住，不能留有空隙，頭發亦不能露出來。

潔凈室用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑膠底，布質部分則采用與潔凈衣相同材質即可，鞋子穿著時潔凈衣腳跟部分應完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂（Vinyl），在使用過程中若有不舒適感或妨害手指脂觸感者則停止使用，手套表面有粉質時須去除或停用，原則上以使用無粉之Vinyl手套為佳。（清潔急救網合作工廠伙伴為清潔同行提供無塵車間實地演示）無塵衣、鞋、帽子等須由專人管理，并定期做清洗，清洗須在潔凈室內進行，并以純水配合清潔溶劑，并經約0.2μm過濾器為之，一般洗滌周期視清潔度等級而定，在高潔凈區為2～3天，其他區域則為5天～1星期，洗滌完畢干燥后應立即密封。⑴潔凈隧道（CleanTunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。洗滌衣置放場所須為潔凈室，備用品或新品存放柜內，正使用者則吊掛衣架上，以為方便取用。