氦質譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應性以及無破壞性，使其廣泛應用。氦質譜檢漏設備應在施工工作完成后進行本測試，測試完成后不得進行焊縫的修磨等。若設備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細管的泄漏而影響測試結果的真實性。氦質譜檢漏儀是用示蹤氣體氦氣的專門用于檢漏的儀器，它性能穩定，靈敏度高，是真空檢漏技術中較成熟的設備，使用比較普遍的檢漏儀。為工廠作業人員的安全以及環境保護，氦質譜檢漏儀成為化工管道檢漏的的選擇。

為了避免串液故障發生，需要對導流區域和二道密封區域進行氦質譜檢漏。采用真空法進行檢漏時，采用水環泵、旋片泵、不銹鋼波紋管、球閥、節流閥組建真空系統。首先使用水環泵抽真空，然后充入氮氣，再次使用水環泵抽真空，反復幾次對換熱器內部抽出水蒸氣和粉塵。使用工業吸塵器對換熱器外表面除塵和干燥。使用旋片泵抽真空和氮氣置換的方式對換熱器內部進一步干燥。干燥后在管熱管抽真空后，在的漏點噴氦氣，觀察氦檢儀顯示情況。對漏點進行堵漏。

檢漏設備：質譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。氦質譜檢漏儀應在校驗后使用并在檢漏期間每 1- 2 小時校驗。檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達到一定真空度。氦質譜檢漏主要領域：航空航天——燃料箱、油箱、及各種電機等；儀表制造——壓力傳感器、閥門、波紋管和密封焊接件等。