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2分鐘前 安徽粗糙度檢測設(shè)備了解更多「蘇州特斯特」[蘇州特斯特31ff5f9]內(nèi)容:超聲波掃描顯微鏡特點:非破壞性、對樣品無損壞。分辨率高,可確定缺陷在樣品內(nèi)部的準(zhǔn)確位置。工作方式按接收信息模式可分為反射模式與透射模式。按掃描方式分可分為 C掃,B掃,X掃,Z掃,分焦距掃描,分波長掃描等多種方式。二次打標(biāo)假l冒識別塑封器件二次打標(biāo)可用于塑封元器件表面標(biāo)識的假l冒識別,通過對期間標(biāo)識層的多層掃描可發(fā)現(xiàn)二次打標(biāo)痕跡。

EMMI偵測的到亮點、熱點(Hot Spot)情況;原來就會有的亮點、熱點(Hot Spot)飽和區(qū)操作中的BJT或MOS(Saturated Or Active Bipolar Transistors /Saturated MOS)動態(tài)式CMOS (Dynamic CMOS)二極管順向與逆向偏壓崩潰 (Forward Biased Diodes /Reverse Biased Diodes Breakdown)偵測不到亮點情況不會出現(xiàn)亮點的故障奧姆或金屬的短路(Ohmic Short / metal Short)亮點被遮蔽之情況埋入式接面的漏電區(qū)(Buried Juncti)金屬線底下的漏電區(qū)(Leakage Sites Under metal)

偵測到亮點之情況;

會產(chǎn)生亮點的缺陷:1.漏電結(jié);2.解除毛刺;3.熱電子效應(yīng);4閂鎖效應(yīng); 5氧化層漏電;6多晶硅須;7襯底損失;8.物理損傷等。 偵測不到亮點之情況 不會出現(xiàn)亮點之故障:1.亮點位置被擋到或遮蔽的情形(埋入式的接面及 大面積金屬線底下的漏電位置);2.歐姆接觸;3.金屬互聯(lián)短路;4.表面 反型層;5.硅導(dǎo)電通路等。

點被遮蔽之情況:埋入式的接面及大面積金屬線底下的漏電位置,這種情 況可采用Backside模式,但是只能探測近紅外波段的發(fā)光,且需要減薄及 拋光處理。

半導(dǎo)體常用失效分析檢測儀器;

顯微鏡分析OM無損檢測

金相顯微鏡OM:可用來進行器件外觀及失效部位的表面形狀,尺寸,結(jié)構(gòu),缺陷等觀察。金相顯微鏡系統(tǒng)是將傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡與計算機(數(shù)碼相機)通過光電轉(zhuǎn)換有機的結(jié)合在一起,不僅可以在目鏡上作顯微觀察,還能在計算機(數(shù)碼相機)顯示屏幕上觀察實時動態(tài)圖像,電腦型金相顯微鏡并能將所需要的圖片進行編輯、保存和打印。金相顯微鏡可供研究單位、冶金、機械制造工廠以及高等工業(yè)院校進行金屬學(xué)與熱處理、金屬物理學(xué)、煉鋼與鑄造過程等金相試驗研究之用,實現(xiàn)樣品外觀、形貌檢測 、制備樣片的金相顯微分析和各種缺陷的查找等功能。

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