具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。潔凈室內(nèi)密封控制重點內(nèi)容是圍護結(jié)構(gòu)密封施工質(zhì)量，如板材與板材之間應均勻涂密封膠，達到嚴密不漏風。

潔凈室內(nèi)的嵌壁器械柜與墻體之間、壁板上安裝的插座、開關(guān)、照明箱體及燈帶、觀片燈等都需要用密封膠進行密封，且器械柜中的各種管道和箱體之間也都必須采用可靠和有效的密封措施。布置工藝的流程盡可能短，減少交叉往復，、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室，除配備產(chǎn)品工序要求的用室外，還應配備潔具室、洗衣間、暫存室等，每間用室相互，凈化工程的面積應在保證基本要求前提下，與生產(chǎn)規(guī)模相適應。排風系統(tǒng)有一般排風系統(tǒng)、有機氣體排風系統(tǒng)、酸性氣體排風系統(tǒng)、堿性氣體排風系統(tǒng)等，凈化車間設(shè)計時，要根據(jù)實際情況選擇。

凈化工程技術(shù)的興起不過是上個世紀的事情，但今天凈化技術(shù)發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產(chǎn)品向著方向發(fā)展，對凈化車間的依賴度也越來越高。而隨著凈化技術(shù)的發(fā)展，建設(shè)凈化車間的技術(shù)含量也越來越高，非人士不能也。除了在生產(chǎn)領(lǐng)域，凈化工程技術(shù)還會逐漸應用于家庭、公共場合，為人們提供更潔凈的生活空間。潔凈技術(shù)專門研究并提供潔凈的生產(chǎn)工藝環(huán)境和生產(chǎn)過程中使用的各種高純介質(zhì)，有效地控制微量雜質(zhì)，以保證高科技產(chǎn)品的成品率。凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用空氣過濾器三級過濾。車間凈化工程可以細分為很多方面，每一方面的標準達到了，車間凈化工程才算是成功的。

潔凈室內(nèi)的嵌壁器械柜與墻體之間、壁板上安裝的插座、開關(guān)、照明箱體及燈帶、觀片燈等都需要用密封膠進行密封，且器械柜中的各種管道和箱體之間也都必須采用可靠和有效的密封措施。設(shè)計凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級過濾器的效率不能太接近，也不能相差太大。凈化工程技術(shù)的興起不過是上個世紀的事情，但今天凈化技術(shù)發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。