然而，在醫(yī)學(xué)上，生物潔凈室通常用于控制微生物污染。在生物潔凈室中，這些微生物多由細(xì)菌和真菌組成，粒徑在0.2um以上，常見的細(xì)菌都在0.5um以上，且大多附著在其他顆粒上。生物污染的渠道不僅僅是通過空氣，還與人體和操作人員的服裝有關(guān)。在醫(yī)學(xué)研究領(lǐng)域，生物實(shí)驗(yàn)室、無(wú)菌實(shí)驗(yàn)室以及用于生化和醫(yī)學(xué)實(shí)驗(yàn)的“特殊動(dòng)物”飼養(yǎng)室也需要控制微生物污染。

凈化工程潔凈室溫濕度控制凈化工程潔凈空間的溫度和濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定的，但在滿足工藝要求的條件下，也要考慮到舒適度。隨著空氣潔凈度要求的提高，對(duì)溫度和濕度的要求也有越來(lái)越嚴(yán)格的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求后面會(huì)列出，但作為一般原理，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，玻璃與作為掩模材料的硅片之間的熱膨脹系數(shù)差要求越來(lái)越小。

硅片直徑為100um，溫升1度，上升0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，濕度也要求值一般較低，因?yàn)槿嗽诔龊?，產(chǎn)品會(huì)有污染，特別怕大半導(dǎo)體車間，車間溫度不應(yīng)超過25度，濕度高的問題較多。當(dāng)相對(duì)濕度超過55％時(shí)，冷卻水管壁會(huì)結(jié)露，如果在精密設(shè)備或電路中發(fā)生，會(huì)引起各種事故。當(dāng)相對(duì)濕度為50％時(shí)，容易生銹。