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具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。一般潔凈室高度控制在2.60米,對(duì)個(gè)別較高的設(shè)備可在局部加高,而不宜提高潔凈區(qū)的高度。凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應(yīng)采用空氣過濾器三級(jí)過濾。車間凈化工程可以細(xì)分為很多方面,每一方面的標(biāo)準(zhǔn)達(dá)到了,車間凈化工程才算是成功的。
凈化工程的關(guān)鍵是設(shè)計(jì),工程設(shè)計(jì)水平的好與壞將直接關(guān)系到整個(gè)工程之后的施工,還會(huì)影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟(jì)性。潔凈室施工涉及裝飾、暖通、電氣和氣體等,施工人員須對(duì)潔凈室施工規(guī)范、施工工藝、施工質(zhì)量有認(rèn)識(shí),否則,施工質(zhì)量很難得到保障。現(xiàn)在國內(nèi)的相關(guān)企業(yè)很多,所以凈化工程企業(yè)之間的競爭也很激烈,因?yàn)榭萍嫉陌l(fā)展使得市場對(duì)凈化工程的要求高了起來,從以前的價(jià)格競爭變成了現(xiàn)在的價(jià)值競爭。所以相關(guān)的凈化工程企業(yè)應(yīng)該提高自身的自主研發(fā)能力,不斷的發(fā)展創(chuàng)新,才能適應(yīng)這個(gè)競爭激烈的市場。
潔凈技術(shù)專門研究并提供潔凈的生產(chǎn)工藝環(huán)境和生產(chǎn)過程中使用的各種高純介質(zhì),有效地控制微量雜質(zhì),以保證高科技產(chǎn)品的成品率。潔凈室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間。