氣體管道安裝

實驗室供氣系統作為一種氣體補給方式，現已經被人們越來越廣泛的使用。它是一種包括了氣源、切換裝置、壓力調節設備、終端、報警設備。氣路系統通常采用不銹鋼管道。

實驗室供氣系統主要包括中央集中供氣系統和氣瓶分散供氣系統兩種模式。氣體管道設計規范（1）氫氣、氧氣和煤氣管道以及引入實驗室的各種氣體管道支管宜明敷。實驗室集中供氣系統已成為實驗室的主流，其優勢主要體現在集中供氣更安全、更經濟、純度更高，工作流程更優化。實驗室是一個特殊的工作區域，從安全、經濟社會效應及實際使用效益角度考慮，形成系統的供氣迫在眉睫，實驗室供氣系統的安全系數應通過集中供氣來實現，氣瓶供氣已逐步淘汰。

高純氣體配管及附件材質的選擇

選用滲透性小、出氣速率低、吸附性差的材料。（5）空瓶與實瓶分區放置，氣瓶室易i燃易i爆氣瓶應該與助燃氣瓶隔離。目前超大規模集成電路前工序高純氣體輸送系統管道材料采用不銹鋼光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不銹鋼電拋光管（SS316L-EP）等，但是對要求控制高純氣體中總雜質含量≤1.01.0×10－6及以下的管材應用SS316L-EP管。

注：①管路型式以氣體特性設計，惰性氣體使用一般的單層管，作為制程用的反應氣體，則選用高i級別的SS316L-EP管；使用與芯片接觸但不參與制程反應的氣體則選用SS316L-BA管。

②對于自燃爆i炸，有劇i毒的特種氣體，如SiH4、PH3、AsH3等則考慮使用雙套管，它的內/外管材質一般為SS316L-EP/SS316L-AP，此設計的主要目的有兩點，首先可保護內管直接受到外力撞擊，其次能將由內管滲漏的氣體阻絕于外管，并利用相關的檢測設備檢測，目前常用的設計有正壓和負壓兩種方式，負壓設計是將內外管間抽成真空，正壓設計則是灌以氮氣維持正壓，兩者皆可接上壓力表或者壓力警報器檢知泄漏狀態。蒸汽或其他含水的氣體管道在i低點設置排水管或疏水閥，某些氣體管道還設有氣水分離器，以便及時排去水液，防止管內產生水擊和阻礙氣體流動。

通常采用的方法有機械噴砂、化學溶液清洗、化學拋光、電拋光等，目前廣泛應用的管材有光亮退火管和電拋光管。

現在實驗室常會用到各類分析儀器，這些儀器都需要使用載氣和燃料氣，這些氣體的控制系統對于實驗人員和價格高昂的實驗器材的安全都是至關重要的。氣體管道安裝氣體管道可能承受許多種外力的作用，包括本身的重量、氣體作用在管端的推力、風雪載荷、土壤壓力、熱脹冷縮引起的熱應力、振動載荷和地i震災害等。它必須確保這些氣體的穩定性和安全性。多種分析儀器，如氣相色譜儀，原子吸收，氣—質聯用儀，ICP等等，這些儀器需要用到高純氣體，傳統的做法是采用獨立鋼瓶分散供氣的模式，這種供氣模式每臺儀器設備單獨配置氣體鋼瓶，分別滿足每臺儀器設備的使用，但隨著近年來實驗室投資的不斷加大，儀器設備的迅速增加，用氣量也逐年增加，傳統的供氣模式已經難以滿足儀器設備增加的需求，同時分散供氣模式帶來的實驗室布局混亂，鋼瓶的頻繁更換也對實驗室的管理和維護造成了困難。

目前主流氣路編排主要是實驗室集中供氣系統。