廢氣處理方法一般分為無機廢氣處理和有機廢氣處理。顧名思義，它是根據要處理的廢氣類型來區分的。同時，由于有機廢氣和無機廢氣性質不同，處理方法也不同。接下來，主要從廢氣的種類和處理方法這兩個方面分析有機廢氣處理與無機廢氣處理的區別。有機廢氣處理是指工業生產過程中對有機廢氣的吸附、過濾和凈化。

一般有機廢氣處理包括甲醛有機廢氣處理、苯、等苯系有機廢氣處理、有機廢氣處理、廢氣處理、油霧有機廢氣處理、有機廢氣處理、、酸性有機廢氣處理等樹脂有機廢氣處理，如機械有機廢氣處理、添加劑有機廢氣處理、油霧有機廢氣處理、有機廢氣處理、有機廢氣處理、碳氫化合物和氧氣處理等。有機廢氣一般，有毒有害，不溶于水，溶于，難處理。

有機廢氣處理常用于有機廢氣的吸附處理、催化燃燒、催化氧化、酸堿中和、等離子體等原理。然而，等離子體法由于其高壓放電危險性而不被推薦。目前，較好的有機廢氣處理方法是采用五種重型有機吸附過濾凈化系統進行廢氣處理。廢氣處理設計及凈化過濾效果良好。

活性炭吸附設備采用吸附法，系利用活性碳吸附劑(adsorbent) 固體本身的表面作用力，將VOC分子之吸附質(adsorbate)吸引附著在吸附劑表面，以達到去除VOC物質之目的。活性碳吸附法在低濃度VOC條件下，可以理想地去除廢氣中揮發性有機物，同時有較佳的經濟效益。故在空氣污染物控制方面，特別適用處理含低濃度VOC 之廢氣，例如半導體廠、LCD廠、PCB廠與相關電子廠等。

活性炭吸附設備依照吸附劑與吸附物質間吸引力的不同，吸附法之機制包括有藉由物質間凡得瓦爾力作用之物理吸附及利用產生化學鍵結合之化學作用。其中物理作用為一可逆現象，常被用來由改變壓力或溫度破壞此平衡，以再生吸附劑并回收吸附物質，例如蒸氣再生、化學氧化再生、微波再生等；化學作用為高放熱反應且通常為不可逆反應。吸附劑的種類眾多，但以活性碳較常被采用，主要是因為活性碳對某些VOC之物理吸附效果良好、回收再生容易，而且價格便宜；至于其它吸附劑，如硅膠、硅藻土、活性氧化鋁或合成沸石，則對VOC之吸附選擇性較高，因此需配合廢氣污染物之特性，選用適合之吸附劑。

廢氣凈化吸附過程是廢氣與空氣過濾器充分接觸，空氣過濾器會除去廢氣里面的微小的懸浮顆粒，廢氣會隨之進入吸附床，通過吸附床內的活性炭除去有害物質，凈化后的空氣達到規定的標準后方可排放到室外。

廢氣凈化脫附過程這個過程針對吸附床內的活性炭的，是指活性炭在使用一段時間后，其吸附了大量的有害物質后是可以脫附的，活性炭使用時間的長短是和廢氣中有害物質的含量以及使用時間的長短決定的，脫附的過程是用脫附塔的，其原理是使用催化燃燒裝置把活性炭內的溶劑利用熱空氣蒸出，蒸出的溶劑是不ke以直接排出的，會再次進入催化裝置燃燒，燃燒后的高溫氣有一部分是排出到空氣里面的，但大部分是送回吸附床，作為吸附的熱能繼續循環使用。

3、曝氣式活性污泥脫臭法

原理：將惡臭物質以曝氣形式分散到含活性污泥的混和液中，通過懸浮生長的微生物降解惡臭物質適用范圍廣。優點：活性污泥經過馴化后，對不超過極限負荷量的惡臭成分，去除率可達99.5%以上。

4、多介質催化氧化工藝

原理：反應塔內裝填的固態填料，填料內部復配多介質催化劑。當惡臭氣體在引風機的作用下穿過填料層，工業廢氣處理設備通過噴嘴呈發散霧狀噴出的液相復配氧化劑在固相填料表面充分接觸，并在多介質催化劑的催化作用下，惡臭氣體中的污染因子被充分分解。優點：占地小，投資低，運行成本低；管理方便，即開即用。