3分鐘前 蚌埠半導體氧化設備公司服務介紹 蘇州潤璽[蘇州潤璽f9f1caf]內(nèi)容:為什么零部件需要去除油污:減少部件表面上的離子雜質(zhì)。滿足容器排氣(outgassing)性能的測試 (由第三方實驗室檢測).此測試檢測出了在真空下嵌入金屬表面的有機材料的數(shù)量和成分。如果測試中的數(shù)量太大,則意味著終的加工設備很難將容器真空至全真空狀態(tài)。815 GD 在這些測試中都有的表現(xiàn), 主要表現(xiàn)為的清潔能力以及測試中未發(fā)現(xiàn)清洗劑的殘留。

使用過程產(chǎn)品: AquaVantage 815 GD濃度: 10%溫度: 131-140°F (55°C)設備: 2 套單獨的清洗流程, 200L 超聲波設備, 4000L 浸沒設備。沖洗: 3 個階段: 自來水, 去離子水以及終的去離子水. 所有的沖洗需要在接近 22 – 25°C的環(huán)境進行.通過一個閉環(huán)去離子水系統(tǒng)(水通過去離子水床的連續(xù)循環(huán)),終的沖洗被控制在至少4兆歐姆的電阻率。結(jié)論: 具有持續(xù)良好的清潔能力 。BHC 的優(yōu)勢: 的排氣性能和清洗部件能力。使用BRULIN815GD清洗的半導體設備零部件,為更好地去除水分和揮發(fā)極低的有機物,要需零部件進行后處理:在惰性氣體、真空度為0.13Pa、設定溫度為500K(227°)的烘烤箱進行烘烤,進行裝配。

在濕法清洗工藝路線下,目前主流的清洗設備主要包括單片清洗設備、槽式清洗設備、組合式清洗設備和批式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗設備等,其中單片清洗設備市場份額占比高。濕法清洗工藝路線下主流的清洗設備存在先進程度的區(qū)分,主要體現(xiàn)在可清洗顆粒大小、金屬污染、腐蝕均一性以及干燥技術(shù)等標準。目前至純科技主要生產(chǎn)濕法清洗設備,提供槽式設備(槽數(shù)量按需配置)及單片機設備(8-12 反應腔),均可以覆蓋 8-12 寸晶圓制造的濕法工藝設備。
