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無塵潔凈室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
我國的潔凈室工程開始于20世紀60年代初,在70年代電子工業潔凈室特別是半導體集成電路用潔凈室的規劃、建造開展很快,相繼建成一批潔凈廠房,并研制成功100級單向流潔凈室;與此同時,潔凈廠房用設備和資料,如過濾器,潔凈工作臺、層流罩、潔凈烘箱、空氣吹淵室、凈化型傳遞窗等相繼研制成功,并投入出產,雖然制作質量和某些工程指標與世界水平尚有差距,但已能滿足國內部分需求,到20世紀70年代末我國潔凈室規劃、建造和潔凈工程的開展走向成熟階段。
無塵車間凈化工程該如何選擇與維護保養呢?
1.應提升留意房間內的溫度濕度操縱,防止因環境濕度的不善導致冷凝水銹蝕。
2.當設備檢修易造成微塵物體,故檢修時盡可能于清理戶外開展,并加護欄網防護。
3.針對工程施工或檢修的生產商,應告之出入無塵車間的工作紀律要求,且承擔技術工程師應隨侍在側現場監工。
4.需有無無塵車間常用工具組,但不可弄出無塵車間外應用。
5.設計室內空間時若能鄰近無塵車間開設一間檢修和設備維修手冊放置室,將是一理想化的設計。