廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel真空泵真空泵養護 Alcatel ATH1600M分子泵維修

Alcatel ATH1600M法國阿爾卡特磁懸浮分子泵維修,Alcatel ATH1600MT阿爾卡特分子泵進氣法蘭口DN200ISO-K/DN200CF，出氣法蘭口DN40 ISO-KF，抽速可達到1400 L/s，極限壓力4.5X.10-6 mTorr/6X10-9 mbar,轉速為15000-39000rpm，阿迪克森ATH1600MT磁懸

真空泵維修中，一般會接到以下幾個故障案例：①會出現真空泵無法啟動；②真空泵達不到極限真空；③真空泵的抽速太慢；④真空泵工作中的溫度過高；⑤真空泵的噪音過大；⑥真空泵漏油。本文主要來詳細分析下真空泵無法啟動這一個問題，用過真空泵的用戶應該都會知道，使用真空泵的過程中，如果長期未使用或者出現故障時都會導致真空泵無法正常啟動，例如，啟動一下就會突然停下了，甚至都啟動不了。Alcatel ATH1600M分子泵維修

真空泵機械選擇：

真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。Alcatel ATH1600M分子泵維修

真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

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當停泵后，碳氧化合物返流很快通過泵進入直空室內，如果系統仍保持在直空狀態下，碳氣化合物將會粘在清潔的葉片和直空室的表面上，在隨后再運轉該系統時，將極難抽除粘著的碳氧化合物，另一方面，在渦輪分子泵停止運轉時，如果給泵充入干燥氙氣或干燥空氣，剛該干燥氣體將給暴露的表面提供一層氣體保護層，而且在系統充氣后，返流的碳氧化合物由于與充入的氣體混合起來，從而它的粘著能力很弱，在混合氣體中碳氧化合物所占比例*小，在下一次抽空時也很快就能被抽走。

一般導致真空泵無法正常啟動的原因

1、驅動電機電壓不正確或過載。維修進口真空泵

解決辦法：提供電機正確的電壓。

2、電機啟動器過載保護太小或設定值太低。

解決辦法：將電機啟動器過載保護的設定數據與電機銘牌的數據相對照，必要時，請校正。如果環境溫度較高：可將設定值根據正常電機電流提高5%。

3、保險絲熔斷。

解決辦法：檢查保險絲。維修進口真空泵

在何處充氣

在渦輪分子泵的前級側充氣，能強制使碳氧化合物立刻通過渦輪分子泵流入真空室。另一方面，若在渦輪分子泵吸入側充氣，能達到以清潔氣體蕩蓋表面的目的。并使氣流流向渦輪分子泵(自上而下)，能暫時阻止、延遲碳氫化合物的返流，也有些渦輪分子泵在壓縮級之間進行中間充氣，它和在吸入側充氣控制碳氣化合物返流幾乎同樣有效。在超高真空系統中，在壓縮級充氣尤其*越。因為中間充氣不需要價格昂貴的金屬密封的可烘烤的充氣閥。維修進口真空泵

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復合分子泵作為氦質譜檢漏儀的重要部件，其自身的幾何參數在影響抽氣性能的同時也影響檢漏儀的檢測性能?；诜肿颖贸闅饣纠碚?，建立了復合分子泵牽引級的計算模型，通過改變螺旋升角、ALCATEL 5011分子泵維修 ，牽引槽深度和轉子與定子的間隙，分別計算了復合分子泵牽引級對氦質譜檢漏儀涉及到的2種氣體——空氣和氦氣在不同工況下的抽氣性能，研究了復合分子泵牽引級參數對氦質譜檢漏儀檢測性能的影響。

一、真空泵正常運轉使用時，每三天對以下內容進行一次點檢：

A、泵油是否在游標范圍以內

B、泵油是否有變黃變黑、混濁現象

C、聲音是否出現異響

D、真空泵運行時是否出現漏油

分子泵的部件是旋轉葉片和固定葉片。旋轉葉片的轉速達1800～90000rpm，葉片端的速度達數百m/s，接近分子的平均速度，通過和氣體分子的碰撞將氣體分子搬運到排氣口。當對向設置的旋轉葉片進行高速轉動時，氣體分子從吸氣側運動到排氣側的幾率是A，氣體分子從排氣側反向運動到吸氣側的幾率是B。旋轉葉片撞擊氣體分子，氣體分子碰到固定葉片之后再次飛向下一個旋轉葉片，終被彈向排氣口，使得A>B，實現排氣功能。

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