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漳州半導體真空泵系統服務至上「廈門太星機電」?;丶铱纯丛?/h1>

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最后更新: 2023-11-06 04:10
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7分鐘前 漳州半導體真空泵系統服務至上「廈門太星機電」[廈門太星機電23f1e02]內容:

廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業經驗和銷售及維修工程師團隊組成,公司提供國外及國內廠家生產的真空泵,檢漏儀,分子泵,擴散泵,水環真空泵,螺桿真空泵,羅茨泵,真空測量,真空泵油及其備品備件。

通常擴散泵的性能是以極限真空、大反壓強、抽氣速率以及設置冷阱或低溫擋板而定。

1.極限真空

如果對一般油擴散泵的結構進行改進,如減少油蒸氣的返流,加分鎦裝置,合理分配加熱功率,改進噴嘴角度設計,加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使擴散泵性能大大改善,極限真空可達到更低的壓強。油擴散泵工作壓力范圍是10^-1~10^-6Pa,起始壓力正好是機械泵的極限壓力,因此,油擴散泵通常要利用機械泵作為前級泵,將真空度抽到10^-1Pa后才能開始工作。

2.大反壓強

大反壓強是指擴散泵所允許的前置壓強大值。如果前級泵所產生的壓強高于大反壓強,則擴散泵就不能正常工作。

3.抽氣速率

擴散泵的抽速可根據氣體分子運動理論來推算出來。

4.設置冷阱及低溫擋板的原因

廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業經驗和銷售及維修工程師團隊組成,公司提供國外及國內廠家生產的真空泵,檢漏儀,分子泵,擴散泵,水環真空泵,螺桿真空泵,羅茨泵,真空測量,真空泵油及其備品備件。

擴散泵系統的壓強不穩定的原因,有內部和外部之分。泵外的原因有:①來自橡膠墊圈的氣泡;②從障板上滴落下的泵油;③高的前級耐壓;④阱除霜;⑤阱內冷凍層的。泵內的原因有:①泵油爆沸或沸騰不穩定;②在導流管外部油的沸騰;③輕氣體的低壓縮比;④噴咀內的液滴;⑤頂噴咀變冷(蒸汽冷凝);⑥鍋爐附近泄漏,泵體要檢漏。

廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業經驗和銷售及維修工程師團隊組成,公司提供國外及國內廠家生產的真空泵,檢漏儀,分子泵,擴散泵,水環真空泵,螺桿真空泵,羅茨泵,真空測量,真空泵油及其備品備件。

擴散泵維修保養對系統進行烘烤去氣處理。對玻璃系統而言,硬玻璃烘烤溫度為400℃~450℃ ,軟玻璃為350℃~400℃ 。去氣時間視具體要求而定,一般1~2小時。去氣完后,真空度仍達不到要求,應使用電離計記P-t曲線,以判斷是否漏氣。亦可用、酒精等涂抹處,看表針的擺動以發現漏孔。若為去氣不良,應進一步烘烤,加長時間去氣。新系統一般要抽較長時間才能達到預期的真空度。真空度老上不去,則要考慮系統設計、安裝是否合理,有無死空間,放氣源多否,維修時是否帶進了臟物,被抽容器是否清潔等其他因素。

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