檢漏步驟為:若步驟1和2均未檢出漏點，就要考慮各個真空泵性能的問題，首要檢查機械泵油、羅茨泵油是否缺少，如果泵油缺少會大大降低泵的抽氣性能，其次檢查機械泵的閥片,通過向機械泵排氣口噴吹氦氣來檢測其閥片的密封性。擴散泵油或擴散泵加熱器異常也會造成極限壓不合格。還應檢查真空計是否準確以及真空系統設計是否滿足技術要求。

油箱試驗件的細漏漏點采用正壓法檢測。試驗時，向油箱 試驗件內部充入氦氣和壓縮空氣的混合氣體，使油箱內部壓力大于外界大氣壓，如果有漏點存在，氦氣就通過漏點泄漏出來，用吸槍進行探測，就能確定是否存在泄漏。檢測過程要保證在吸槍上加罩盒。一是為了防止環境中氦濃度過高，影響檢測;二是為了防止一大片的漏點同時泄漏，不能檢測到漏點的確切位置及單個漏點的漏率。檢測時，吸槍要沿著漏點緩慢移動，以便能夠檢測出漏源的準確反應值。

檢漏設備：質譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。氦質譜檢漏儀應在校驗后使用并在檢漏期間每 1- 2 小時校驗。檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達到一定真空度。氦質譜檢漏主要領域：航空航天——燃料箱、油箱、及各種電機等；儀表制造——壓力傳感器、閥門、波紋管和密封焊接件等。